TFTマトリックスパネル、および、これを用いた画像表示装置、光電変換装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：山下穣平
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000142010
Publication number (International publication number)：2001326356
Application date： May. 15, 2000
Publication date： Nov. 22, 2001
Summary：

【要約】【課題】従来のプロセス技術を利用でき、しかも、個々のTFTの電極抵抗の低減と小面積化が達成できる新規なTFTマトリックスパネル、および、これを用いた画像表示装置、光電変換装置を提供する。【解決手段】ソース部、チャネル部、ドレイン部およびゲート部を有し、複数個のTFTを、絶縁基板上に2次元的に配列したマトリックスパネルにおいて、前記ソース部、チャネル部、ドレイン部が前記絶縁基板上に、縦方向に積層され、その側面に絶縁層、ゲート電極が形成された配置構造になっていることを特徴とする。

Claim (excerpt)：

ソース部、チャネル部、ドレイン部およびゲート部を有し、複数個のTFTを、絶縁基板上に2次元的に配列したマトリックスパネルにおいて、前記ソース部、チャネル部、ドレイン部が前記絶縁基板上に、縦方向に積層され、その側面に絶縁層、ゲート電極が形成された配置構造になっていることを特徴とするTFTマトリックスパネル。

IPC (5)：

H01L 29/786 , G02F 1/1368 , G09F 9/30 338 , H01L 27/146 , H01L 31/09

FI (5)：

G09F 9/30 338 , H01L 29/78 626 A , G02F 1/136 500 , H01L 27/14 C , H01L 31/00 A

F-Term (87)：

2H092JA28 , 2H092JA37 , 2H092JA38 , 2H092JA41 , 2H092JA42 , 2H092JB56 , 2H092KA05 , 2H092KA12 , 2H092KA24 , 2H092LA02 , 2H092LA16 , 4M118AA08 , 4M118AA10 , 4M118AB01 , 4M118AB10 , 4M118BA05 , 4M118CA05 , 4M118CA07 , 4M118CA14 , 4M118CA32 , 4M118CB06 , 4M118CB14 , 4M118DD12 , 4M118EA01 , 4M118EA14 , 4M118FB09 , 4M118FB13 , 4M118FB21 , 5C094AA04 , 5C094AA05 , 5C094AA10 , 5C094AA13 , 5C094BA03 , 5C094BA43 , 5C094CA19 , 5C094DA13 , 5C094EA04 , 5C094FA01 , 5C094FA02 , 5C094FB12 , 5C094FB14 , 5C094FB15 , 5C094GB10 , 5F088AA03 , 5F088AB05 , 5F088BB03 , 5F088CB04 , 5F088CB07 , 5F088CB14 , 5F088EA08 , 5F088EA20 , 5F088FA04 , 5F088FA05 , 5F088GA02 , 5F088LA07 , 5F110AA03 , 5F110AA04 , 5F110BB01 , 5F110BB10 , 5F110BB13 , 5F110CC09 , 5F110DD02 , 5F110EE03 , 5F110EE04 , 5F110EE44 , 5F110EE45 , 5F110FF03 , 5F110FF29 , 5F110GG02 , 5F110GG12 , 5F110GG13 , 5F110GG15 , 5F110GG35 , 5F110GG44 , 5F110HK03 , 5F110HK04 , 5F110HK07 , 5F110HK09 , 5F110HK16 , 5F110HK21 , 5F110HK25 , 5F110HK33 , 5F110HK34 , 5F110NN02 , 5F110NN24 , 5F110NN35 , 5F110NN71

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