超純水の比抵抗調整方法及びこれを用いた純水製造装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：赤塚賢次 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997211394
Publication number (International publication number)：1999033548
Application date： Jul. 22, 1997
Publication date： Feb. 09, 1999
Summary：

【要約】【課題】炭酸ガスの供給設備の必要がなく、炭酸ガスからの汚染の恐れがなく、長期間安定して一定の比抵抗値に調整可能な超純水の比抵抗調整方法とこれを用いた純水の製造装置を提供すること。【解決手段】15MΩ・cm以上の比抵抗を示す超純水を、炭酸水素イオン形を含む強塩基性陰イオン交換樹脂又はアンモニウム形を含む強酸性陽イオン交換樹脂に接触させて超純水の比抵抗を調整する。

Claim (excerpt)：

15MΩ・cm以上の比抵抗を示す超純水を、炭酸水素イオン形を含む強塩基性陰イオン交換樹脂に接触させることを特徴とする超純水の比抵抗調整方法。

IPC (2)：

C02F 1/42 , H01L 21/304 341

FI (2)：

C02F 1/42 B , H01L 21/304 341 S

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

特開昭58-007831
特開平2-083926
特開昭60-165726

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