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J-GLOBAL ID:200903021874530282

高純度酸素及び水素の製造装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 金丸 章一
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1992085186
Publication number (International publication number):1993287570
Application date: Apr. 07, 1992
Publication date: Nov. 02, 1993
Summary:
【要約】【構成】 純水製造手段により製造された純水中のガスを脱気する膜脱気モジュール4等の如き脱気手段と、該脱気手段により脱気処理された純水を膜電解する固体高分子電解質水電解セル5と、該水電解セル5の陽極から発生する酸素及び陰極から発生する水素を個別に除湿するモレキュラーシーブス6A,6B,6C,6D 等の如き除湿手段とを有することを特徴とする高純度酸素及び水素の製造装置。【効果】 上記電解セル5での膜電解により、不純物としては微量の水分を含むだけの高純度の酸素及び水素が発生し、そのため、これらを除湿手段により除湿するだけで電子工業等の技術分野において必要な高純度の酸素及び水素が得られるようになる。従って、純化処理対象の不純物の種類が極めて少なく、純化処理としては除湿処理でよく、純化処理の大幅な簡便化を果たし得るようになる。
Claim (excerpt):
純水中のガスを脱気する脱気手段と、該脱気手段により脱気処理された純水を膜電解する固体高分子電解質水電解セルと、該水電解セルの陽極から発生する酸素及び陰極から発生する水素を個別に除湿する除湿手段とを有することを特徴とする高純度酸素及び水素の製造装置。
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)
  • 特公昭61-034515
  • 特開平3-002237

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