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J-GLOBAL ID：200903021911243060

半導体装置及び薄膜形成方法

Inventor： 今井 聖支 ,  四戸 孝 ,  板谷 和彦 ,  櫛部 光弘 ,  藤本 英俊 ,  森塚 真由美 ,  滝川 修 ,  小林 節子 ,  布上 真也 ,  八幡 彰博
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 外川 英明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998323330
Publication number (International publication number)：2000150875
Application date： Nov. 13, 1998
Publication date： May. 30, 2000
Summary：

【要約】【課題】 品質劣化を防止し、ゲート絶縁膜に印加される電圧による破壊を防止し、またリーク電流を低減することにより、SiCの材料特性を十分に引き出し且つ安定動作可能なSiC-FETを実現すること。【解決手段】 炭化珪素基板に形成された第一導電型高抵抗ドリフト層2と、第二導電型ベース領域7と、第一導電型ソース領域8と、第二導電型ベース領域表面のゲート領域等の上に形成されたAlN膜3と、AlN膜3上に形成された表面被覆膜4とを有し、表面被覆膜4がAlx Ga1-x-y Iny N(但し、xは0≦x≦1の実数、yは0≦y≦1の実数、かつx+y≦1である。)等からなることを特徴とする半導体装置。

Claim (excerpt)：

炭化珪素基板に形成された第一導電型高抵抗ドリフト層と、前記第一導電型高抵抗ドリフト層の表面層の一部に形成された第二導電型ベース領域と、前記第二導電型ベース領域内に形成された第一導電型ソース領域と、前記第二導電型ベース領域表面のゲート領域及び接合終端領域のうち少なくとも一つの領域上に形成されたAlN膜と、前記AlN膜上に形成された表面被覆膜とを有する半導体装置であって、前記表面被覆膜がAlx Ga1-x-y Iny N(但し、xは0≦x≦1の実数であり、yは0≦y≦1の実数であり、x+y≦1である。),ZnO,LiAlNO,LiGaNO,HfO,ScN,TiB2 ,UB2 、WB2 の一群より選択された1種類あるいは複数種類から構成されていることを特徴とする半導体装置。

IPC (6)：

H01L 29/78 ,  C23C 14/34 ,  C23C 16/34 ,  H01L 21/31 ,  H01L 21/314 ,  H01L 21/336

FI (10)：

H01L 29/78 652 K ,  C23C 14/34 A ,  C23C 16/34 ,  H01L 21/31 B ,  H01L 21/314 A ,  H01L 29/78 301 G ,  H01L 29/78 301 W ,  H01L 29/78 652 T ,  H01L 29/78 653 A ,  H01L 29/78 658 F

F-Term (88)：

4K029AA04 ,  4K029AA24 ,  4K029BA58 ,  4K029BC05 ,  4K029BD01 ,  4K029CA05 ,  4K029DC05 ,  4K030AA03 ,  4K030AA04 ,  4K030AA05 ,  4K030AA20 ,  4K030BA01 ,  4K030BA02 ,  4K030BA08 ,  4K030BA11 ,  4K030BA18 ,  4K030BA20 ,  4K030BA21 ,  4K030BA24 ,  4K030BA26 ,  4K030BA27 ,  4K030BA38 ,  4K030BA42 ,  4K030BA47 ,  4K030BA49 ,  4K030BA59 ,  4K030BB12 ,  4K030CA04 ,  4K030CA05 ,  4K030DA02 ,  4K030DA08 ,  4K030HA01 ,  4K030HA04 ,  4K030LA11 ,  4K030LA15 ,  5F040DA19 ,  5F040DA21 ,  5F040DC02 ,  5F040EB13 ,  5F040ED01 ,  5F040ED03 ,  5F040ED06 ,  5F040ED07 ,  5F040EE02 ,  5F040EF18 ,  5F040FA11 ,  5F040FC05 ,  5F040FC06 ,  5F040FC10 ,  5F040FC21 ,  5F045AA04 ,  5F045AB03 ,  5F045AB06 ,  5F045AB09 ,  5F045AB14 ,  5F045AB17 ,  5F045AB18 ,  5F045AB32 ,  5F045AB40 ,  5F045AC08 ,  5F045AC11 ,  5F045AC12 ,  5F045AC13 ,  5F045AC19 ,  5F045AD06 ,  5F045AD10 ,  5F045AD14 ,  5F045AD15 ,  5F045AF02 ,  5F045AF13 ,  5F045AF20 ,  5F045BB16 ,  5F045CA05 ,  5F045DA52 ,  5F045DA58 ,  5F045HA13 ,  5F045HA15 ,  5F058BA01 ,  5F058BB10 ,  5F058BC20 ,  5F058BD01 ,  5F058BD18 ,  5F058BE07 ,  5F058BF06 ,  5F058BF27 ,  5F058BF30 ,  5F058BF31 ,  5F058BJ01