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J-GLOBAL ID：200903021914149161

液体原料気化装置

Inventor： 福永 由紀夫 ,  村上 武司 ,  小榑 直明 ,  本郷 明久
Applicant, Patent owner： 株式会社荏原製作所
Agent (1)： 渡邉 勇 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996355576
Publication number (International publication number)：1997235675
Application date： Dec. 24, 1996
Publication date： Sep. 09, 1997
Summary：

【要約】【課題】 高誘電体薄膜の素材となる液体原料を効率良く気化するとともに、気化装置内や配管内の詰まりを防止できるようなコンパクトな気化装置を提供する。【解決手段】 互いに対向する内外の筒状壁1,4の少なくとも一方に、流入口10と流出口11につながる螺旋状の流路14を形成する溝13が形成され、筒状壁1,4の少なくとも一方を加熱する加熱手段17が設けられている。

Claim (excerpt)：

互いに対向する内外の筒状壁の少なくとも一方に、流入口と流出口につながる螺旋状の流路を形成する溝が形成され、上記筒状壁の少なくとも一方を加熱する加熱手段が設けられていることを特徴とする液体原料気化装置。

IPC (6)：

C23C 16/44 ,  B01J 7/02 ,  H01B 1/00 ,  H01L 21/205 ,  H01L 27/108 ,  H01L 21/8242

FI (5)：

C23C 16/44 C ,  B01J 7/02 Z ,  H01B 1/00 F ,  H01L 21/205 ,  H01L 27/10 651