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J-GLOBAL ID：200903021915473094

静電マイクロアクチュエ-タ-

Inventor： 松本 博文
Applicant, Patent owner： 日本メクトロン株式会社
Agent (1)： 鎌田 秋光
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993286133
Publication number (International publication number)：1995123742
Application date： Oct. 20, 1993
Publication date： May. 12, 1995
Summary：

【要約】【目的】 低速度でも移動子の安定運動を保持することの可能な静電マイクロアクチュエ-タ-を提供する。【構成】 移動子6と固定電極1との間に高粘性流体5を封入し、且つ移動子1を流体安定形状に形成することにより移動子1が低速度でも安定な運動を保持するように構成したもの。

Claim (excerpt)：

移動子と固定電極との間に高粘性流体を封入し、この移動子を流体安定形状に形成することにより該移動子が低速度でも安定な運動を保持するように構成したことを特徴とする静電マイクロアクチュエ-タ-。