スポットサイズ変換コア構造を有する光導波路及びその製造方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：絹谷信雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999007897
Publication number (International publication number)：2000206352
Application date： Jan. 14, 1999
Publication date： Jul. 28, 2000
Summary：

【要約】【課題】波長に依存せず低損失にファイバと接続でき、しかもプロセストレランスが大きいスポットサイズ変換コア構造を有する光導波路及びその製造方法を提供する。【解決手段】基板5上にコア4、6、7を火炎堆積法により成膜するとき、屈折率が大きいコア6、屈折率及び高さを変化させたコア4、ファイバと低損失に接続できるコア高さ及び屈折率を有するコア7を一括して形成し、そのコア4、6、7をエッチングにより屈折率及び高さを変化させたコア4の形状をテーパ状6に形成し、屈折率の高いコア6の形状を直線または曲線に形成し、ファイバと接続するコア7は直線状に加工してスポットサイズを変換するコア構造4を形成することにより、波長に依存せず低損失でファイバと接続でき、しかもプロセストレランスが大きいスポットサイズ変換コア構造の光導波路が得られる。

Claim (excerpt)：

直線導波路コアと、該直線導波路コアより幅及び高さが小さく比屈折率差が大きい他の直線導波路コアと、両端が両直線導波路に結合され徐々にコア幅、コア高さ及びコアの屈折率が変化するテーパ導波路とを備えたことを特徴とするスポットサイズ変換コア構造を有する光導波路。

IPC (2)：

G02B 6/122 , G02B 6/30

FI (2)：

G02B 6/12 A , G02B 6/30

F-Term (11)：

2H037AA01 , 2H037BA31 , 2H037CA34 , 2H047KA04 , 2H047KA13 , 2H047MA05 , 2H047PA01 , 2H047PA21 , 2H047PA24 , 2H047QA04 , 2H047TA32

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (12)

特開平3-012612
特開平3-012612
特開平3-012612

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