アルコール性水酸基と芳香族環とプロトンによる脱離性基を有する共重合体

Inventor： , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：安富康男 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002126419
Publication number (International publication number)：2003321520
Application date： Apr. 26, 2002
Publication date： Nov. 14, 2003
Summary：

【要約】【課題】遊離プロトンによる処理前後のアルカリ水溶液への溶解性の変化等の特性、基板密着性、現像性、耐薬品性及び耐エッチング性が高いレベルで発揮され、様々な用途に好適に適用することができるプロトンによる脱離性基を有する共重合体を提供する。【解決手段】 1個の炭素原子を介して主鎖に結合しているヒドロキシル基と、芳香族環とを有し、かつプロトンによる脱離性基を有する共重合体であって、該プロトンによる脱離性基を有する共重合体は、プロトンによる脱離性基が脱離する前のアルカリ溶解速度が20×10-10〜1500×10-10m/秒であるプロトンによる脱離性基を有する共重合体。

Claim (excerpt)：

1個の炭素原子を介して主鎖に結合しているヒドロキシル基と、芳香族環とを有し、かつプロトンによる脱離性基を有する共重合体であって、該プロトンによる脱離性基を有する共重合体は、プロトンによる脱離性基が脱離する前のアルカリ溶解速度が20×10-10〜1500×10-10m/秒であることを特徴とするプロトンによる脱離性基を有する共重合体。

IPC (3)：

C08F212/14 , C08F220/10 , G03F 7/039 601

FI (3)：

C08F212/14 , C08F220/10 , G03F 7/039 601

F-Term (35)：

2H025AA04 , 2H025AA06 , 2H025AA07 , 2H025AA08 , 2H025AA09 , 2H025AA14 , 2H025AB16 , 2H025AB20 , 2H025AC01 , 2H025AC03 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BG00 , 4J100AB07P , 4J100AB07Q , 4J100AL29R , 4J100BA03Q , 4J100BA04P , 4J100BA76P , 4J100BC02P , 4J100BC03P , 4J100BC03R , 4J100BC04P , 4J100BC04R , 4J100BC07P , 4J100BC09R , 4J100BC43P , 4J100BC43Q , 4J100BC52P , 4J100BC53P , 4J100CA05 , 4J100CA31 , 4J100DA39 , 4J100HA08 , 4J100JA38

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

レジスト組成物およびそれを用いたレジストパターン形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-308587 Applicant：株式会社日本触媒
t-ブチルアクリレートポリマーおよびフォトレジスト組成物中でのその使用
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-134815 Applicant：アーチ・スペシャルティ・ケミカルズ・インコーポレイテッド
高分子化合物及び化学増幅ポジ型レジスト材料
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-389784 Applicant：信越化学工業株式会社

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