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J-GLOBAL ID：200903021971098000

透過電子顕微鏡

Inventor： 尾吹 友晴
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 作田 康夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999129584
Publication number (International publication number)：2000323082
Application date： May. 11, 1999
Publication date： Nov. 24, 2000
Summary：

【要約】【課題】透過電子顕微鏡に関し、特に電子照射により試料および蛍光板が受けるダメージの軽減と、電子銃のフィラメントライフ保護、および消費電力軽減に関する。【解決手段】主たる構成は、透過電子顕微鏡において、試料へ照射している電子ビームの強度を制御できる手段及び該強度を設定する手段と、ある一定時間を測定し、その間該透過電子顕微鏡の操作に関わる入力制御部からの入力情報を監視することが可能な手段を有し、前記透過電子顕微鏡がある一定時間内に、何も操作情報が入力されなかった時に、電子ビーム強度を0あるいは予め設定した任意の電子ビーム強度になるようにバイアス電圧を制御することを特徴とする。

Claim (excerpt)：

透過電子顕微鏡において、試料へ照射している電子ビームの強度を制御できる手段及び該強度を設定する手段と、ある一定時間を測定し、その間該透過電子顕微鏡の操作に関わる入力制御部からの入力情報を監視することが可能な手段を有し、前記透過電子顕微鏡がある一定時間内に、何も操作情報が入力されなかった時に、電子ビーム強度を0あるいは予め設定した任意の電子ビーム強度になるようにバイアス電圧を制御することを特徴とする透過電子顕微鏡。

IPC (2)：

H01J 37/26 ,  H01J 37/06

FI (2)：

H01J 37/26 ,  H01J 37/06 A

F-Term (4)：

5C030BC06 ,  5C030BC07 ,  5C033SS01 ,  5C033SS10