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J-GLOBAL ID：200903021977135586

摩擦原理によるMEMS真空センサ

Inventor： シュテフェン クルト ,  ディルク テンホルテ ,  カーラ ヒラー ,  クリスティアン カウフマン ,  トーマス ゲスナー ,  ヴォルフラム デッツェル
Applicant, Patent owner： フラウンホーファー-ゲゼルシャフト ツル フェルデルング デル アンゲヴァンテン フォルシュング エー ファウ ,  テヒニッシェ ウニヴァーズィテート ケムニッツ
Agent (8)： 矢野 敏雄 ,  山崎 利臣 ,  久野 琢也 ,  杉本 博司 ,  星 公弘 ,  二宮 浩康 ,  アインゼル・フェリックス=ラインハルト ,  ラインハルト・アインゼル
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2009511361
Publication number (International publication number)：2009537831
Application date： May. 09, 2007
Publication date： Oct. 29, 2009
Summary：

本発明は、基板(5)と少なくとも1つの質量要素(1)を有する圧力測定用のセンサ素子であって、前記質量要素(1)は、前記基板(5)に対して間隔を置いて配置されており、かつ前記質量要素(1)は、前記基板(5)および/または前記基板(5)に対して相対的に不動の支持体(6)と振動可能であるように接続されており、前記質量要素(1)と前記基板(5)との間に空隙が形成されており、該空隙の幅は、前記質量要素(1)の振動によって変化するセンサ素子に関する。空隙を画定する基板(5)の面には少なくとも1つの凹部および/または少なくとも1つの貫通部が設けられており、これは質量要素を包囲するガスまたはプラズマによる、質量要素の振動の減衰を小さくするために用いられる。このセンサ素子は、真空領域の圧力を測定するための圧力センサに使用される。本発明のセンサ素子を圧力記録器として使用することにより、大気空気圧の領域までの最大圧を検出することができる。検出できる最低圧は10-6 mbrの領域にある。

Claim (excerpt)：

基板(5)と少なくとも1つの質量要素(1)を有する圧力測定用のセンサ素子であって、 前記質量要素(1)は、前記基板(5)に対して間隔を置いて配置されており、 かつ前記質量要素(1)は、前記基板(5)および/または前記基板(5)に対して相対的に不動の支持体(6)と振動可能であるように接続されており、 前記質量要素(1)と前記基板(5)との間に空隙が形成されており、 該空隙の幅は、前記質量要素(1)の振動によって変化するセンサ素子において、 前記空隙を画定する基板(5)の面内に、少なくとも1つの凹部および/または少なくとも1つの貫通部(4)が設けられており、 該凹部および/または貫通部(4)は、前記質量要素(1)の振動の減衰を小さくするために設けられており、 前記振動の減衰は、前記質量要素(1)を包囲するガスまたはプラズマによって生じる、ことを特徴とするセンサ素子。

IPC (1)：

G01L 21/16

FI (1)：

G01L21/16

F-Term (5)：

2F055AA11 ,  2F055BB08 ,  2F055CC44 ,  2F055FF07 ,  2F055GG11