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J-GLOBAL ID:200903022022826645

シート抵抗値測定機器および測定方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (4): 鈴木 崇生 ,  梶崎 弘一 ,  尾崎 雄三 ,  谷口 俊彦
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2002286629
Publication number (International publication number):2004125460
Application date: Sep. 30, 2002
Publication date: Apr. 22, 2004
Summary:
【課題】高分子シート膜上に形成された導電層のシート抵抗を測定するに際し、測定精度が高く操作が容易で試験片に対する負荷の小さな測定装置および測定方法を提供することにある。【解決手段】四端子法において、端子の先端径、端子に加える圧力、端子間距離を所定の範囲とし、端子が自動的に測定部位まで移動する機能を有する。また、前記4つの端子が同一線上になく、かつ、電流印加用端子間を結ぶ線の垂線上またはその内部に電位差測定用端子を配置することでより測定精度の向上が期待できる。さらに、前記端子の内、電流印加用端子と電位差測定用端子とが任意に交換可能とすることで、特にベルト状の試験片の端部の測定に対して、左右の両方の端面からの影響が少ない測定が可能となる。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
高分子シート膜上に形成された導電層のシート抵抗を四端子法によって測定する抵抗値測定機器において、前記端子が自動的に測定部位まで移動する機能を有し、連続的に複数回抵抗値を測定することが可能であり、前記端子の先端径が0.4〜1.5mm、前記端子に加える圧力が10〜100g/本、端子間距離が1.5〜6.0mmであることを特徴とする抵抗値測定機器。
IPC (1):
G01R27/02
FI (1):
G01R27/02 R
F-Term (10):
2G028AA01 ,  2G028BC02 ,  2G028CG02 ,  2G028DH03 ,  2G028DH22 ,  2G028HM05 ,  2G028HN08 ,  2G028HN11 ,  2G028HN13 ,  2G028MS03

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