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J-GLOBAL ID：200903022030689100
微小ワークの加工装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
湯浅 恭三 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994099545
Publication number (International publication number)：1995308875
Application date： May. 13, 1994
Publication date： Nov. 28, 1995
Summary：
【要約】【目的】 微小ワークに3次元ビーム加工を行うことにより立体構造をもつ微小物の作製が可能な微小ワークのビーム加工装置を提供する。【構成】 加工室内にエネルギービームソースと、微小ワークの支持台と、該支持台を移動させる支持台移動機構とを設け、該支持台移動機構により微小ワークの支持台を直交2方向に移動するとともに、該エネルギービームソースからのビーム軸もしくはビーム束の中心軸に直交もしくは斜交する2以上の軸まわりに回転させ、当該ビームと微小ワークとの相対位置関係を予め変化させもしくは変化させながら、微小ワークの3次元ビーム加工をおこなう
Claim (excerpt)：
加工室と、該加工室内に設けられたエネルギービームソースと、該加工室内にて前記微小ワークを支持する台と、該支持台を加工室内で移動させる支持台移動機構とを備えた微小ワークの加工装置において、前記支持台移動機構が該微小ワークの支持台を直交2方向に移動可能かつ該エネルギービームソースからのビーム軸もしくはビーム束の中心軸に直交もしくは斜交する2以上の軸まわりに回転可能であり、当該ビームと微小ワークとの相対位置関係を予め変化させもしくは変化させながら、微小ワークの3次元ビーム加工をおこなうことを特徴とする微小ワークの加工装置。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (10)
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