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J-GLOBAL ID：200903022035530060

超純水の比抵抗調整方法及び装置

Inventor： 内田 誠 ,  新川 健二 ,  竹田 哲
Applicant, Patent owner： 三菱レイヨン株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993215932
Publication number (International publication number)：1995060082
Application date： Aug. 31, 1993
Publication date： Mar. 07, 1995
Summary：

【要約】三層膜構造を有する中空糸膜を用いて、水溶液と接する多孔質層と反対側の多孔質層側に水圧より高い圧力で、炭酸ガスを酸素ガスを脱気した後の超純水へ給気し、超純水の比抵抗を調整する方法及び該方法を実施する装置に関する。

Claim (excerpt)：

均質層をその両側から多孔質層で挟み込んだ三層膜構造であって、均質層を構成する素材の炭酸ガス透過速度が1.0×10-5(cm3 (STP)/cm2 ・sec・cmHg)以上の性能を有する複合中空糸膜を用いて、水溶液と接する多孔質層と反対側の多孔質層側に水圧より高い圧力で、炭酸ガスを酸素ガスを脱気した後の超純水へ給気し、超純水の比抵抗を調整することを特徴とする超純水の比抵抗調整方法。

IPC (3)：

B01D 69/08 ,  B01F 1/00 ,  C02F 1/20