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J-GLOBAL ID：200903022045627143

電気光学装置及びその製造方法

Inventor：
佐藤 尚

About 佐藤 尚


Applicant, Patent owner：
セイコーエプソン株式会社

About セイコーエプソン株式会社


Agent (1)： 鈴木 喜三郎 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999070273
Publication number (International publication number)：2000267596
Application date： Mar. 16, 1999
Publication date： Sep. 29, 2000
Summary：
【要約】【課題】 十分な遮光性を有する遮光層を有し、画素ピッチを微細化しても画素開口率を低下させず、また、高品位の画像表示が可能な電気光学装置及びその製造方法を提供する。【解決手段】 液晶装置は、TFTアレイ基板(10)上にTFT(30)、データ線(6a)、走査線(3a)、容量線(3b)及び画素電極(9a)を備える。第1層間絶縁膜4上の相隣接するデータ線間であって前記走査線及び容量線に沿って伸びる画素の非開口領域に、データ線の形成材料とは異なる材料からなる遮光性の導電層80aを島状に設ける。画素電極及びTFT間は、導電層80aを中継して二つのコンタクトホール(8a、8b)により半導体層1aの一部と電気的接続される。
Claim (excerpt)：
基板に複数の走査線及び複数のデータ線と、前記走査線及び前記データ線に接続された薄膜トランジスタと、前記薄膜トランジスタに接続された画素電極とを有する電気光学装置であって、前記薄膜トランジスタのソース領域及びドレイン領域となる半導体層と、前記半導体層上にゲート絶縁膜を介して配置されたゲート電極と、前記ゲート電極上に配置された第1層間絶縁膜と、前記第1層間絶縁膜上に配置された第2層間絶縁膜とを有し、前記データ線は、前記第1層間絶縁膜に形成された第1コンタクトホールを介して前記半導体層のソース領域に接続されるように配置されてなり、前記データ線上には前記データ線に接続されるように配置された第1導電層が配置されてなり、前記第1導電層と同一層からなる第2導電層が、前記第1層間絶縁膜に形成された第2コンタクトホールを介して前記半導体層のドレイン領域に接続されるとともに、前記第2層間絶縁膜に形成された第3コンタクトホールを介して前記画素電極に接続されるように島状に配置されてなることを特徴とする電気光学装置。
IPC (5)：
G09F 9/30 338 ,  G02F 1/1365 ,  H01L 29/786 ,  H01L 21/336 ,  H04N 5/66 102
FI (4)：
G09F 9/30 338 ,  H04N 5/66 102 A ,  G02F 1/136 500 ,  H01L 29/78 612 Z
F-Term (108)：
2H092GA51 ,  2H092JA25 ,  2H092JA33 ,  2H092JA35 ,  2H092JA46 ,  2H092JB51 ,  2H092JB64 ,  2H092JB69 ,  2H092KA04 ,  2H092KA05 ,  2H092KA10 ,  2H092KA22 ,  2H092KB25 ,  2H092MA05 ,  2H092MA07 ,  2H092MA08 ,  2H092MA13 ,  2H092MA18 ,  2H092MA19 ,  2H092MA27 ,  2H092MA29 ,  2H092MA30 ,  2H092MA37 ,  2H092NA01 ,  2H092NA04 ,  2H092NA07 ,  2H092NA16 ,  2H092PA02 ,  2H092PA04 ,  2H092PA06 ,  2H092PA08 ,  2H092PA09 ,  5C058AA06 ,  5C058AB01 ,  5C058AB02 ,  5C058BA25 ,  5C058BA35 ,  5C094AA05 ,  5C094AA07 ,  5C094BA03 ,  5C094BA43 ,  5C094CA19 ,  5C094DA13 ,  5C094DB04 ,  5C094EA03 ,  5C094EA04 ,  5C094EA07 ,  5C094ED15 ,  5C094FB12 ,  5C094FB15 ,  5C094FB19 ,  5C094GB01 ,  5F110AA21 ,  5F110BB01 ,  5F110BB02 ,  5F110BB04 ,  5F110CC02 ,  5F110DD02 ,  5F110DD03 ,  5F110DD12 ,  5F110DD13 ,  5F110DD14 ,  5F110DD25 ,  5F110EE04 ,  5F110EE05 ,  5F110EE09 ,  5F110FF02 ,  5F110FF03 ,  5F110FF09 ,  5F110FF23 ,  5F110FF32 ,  5F110GG02 ,  5F110GG13 ,  5F110GG15 ,  5F110GG25 ,  5F110GG32 ,  5F110GG47 ,  5F110GG52 ,  5F110GG53 ,  5F110HJ01 ,  5F110HJ04 ,  5F110HJ13 ,  5F110HJ23 ,  5F110HL02 ,  5F110HL03 ,  5F110HL04 ,  5F110HL05 ,  5F110HL07 ,  5F110HL14 ,  5F110HL23 ,  5F110HM14 ,  5F110HM15 ,  5F110HM18 ,  5F110NN03 ,  5F110NN04 ,  5F110NN22 ,  5F110NN23 ,  5F110NN24 ,  5F110NN25 ,  5F110NN26 ,  5F110NN35 ,  5F110NN44 ,  5F110NN46 ,  5F110NN54 ,  5F110PP03 ,  5F110PP10 ,  5F110PP33 ,  5F110QQ11
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (3)
  • アクティブマトリクス型表示装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-087558   Applicant：ソニー株式会社
  • 特開平4-291240
  • 液晶表示装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-292620   Applicant：株式会社東芝
Cited by examiner (1)

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