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J-GLOBAL ID：200903022074664104

走査型近接場顕微鏡

Inventor： 小灘 毅
Applicant, Patent owner： オリンパス光学工業株式会社
Agent (1)： 鈴江 武彦 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999146518
Publication number (International publication number)：2000338118
Application date： May. 26, 1999
Publication date： Dec. 08, 2000
Summary：

【要約】【課題】高いS/N比で試料を高分解能に測定することが可能な走査型近接場顕微鏡を提供する。【解決手段】光源8からの光を所定の偏光状態にする偏光手段10と、この偏光手段10を経由した光を試料3表面に入射させる入射手段9と、光が入射する試料3表面に近接して先端部2が位置したプローブ1と、このプローブ1の先端部2で散乱した散乱光を集光する集光手段11と、この集光手段11で集光された光の異なる2方向の偏光成分について、振幅の差分を検出する差分手段とを備えている。差分手段は、プローブ1の先端部2で散乱した散乱光のP偏光成分とS偏光成分との間に位相差を与える位相差手段18と、位相差が与えられた偏光成分同士を干渉させる干渉手段19とを備えている。

Claim (excerpt)：

プローブを試料表面と相対的に移動させることで走査する走査型近接場顕微鏡であり、光源からの光を所定の偏光状態にする偏光手段と、上記偏光手段を経由した上記光源からの光を、試料表面に入射させる入射手段と、上記光が入射する試料表面に近接して先端部が位置したプローブと、上記プローブの先端部で散乱した光を集光する集光手段と、上記集光手段で集光された光の異なる2方向の偏光成分について、振幅の差分を検出する差分手段とを具備することを特徴とする走査型近接場顕微鏡。

IPC (2)：

G01N 37/00 ,  G01B 11/30

FI (2)：

G01N 37/00 D ,  G01B 11/30 Z

F-Term (17)：

2F065AA50 ,  2F065BB13 ,  2F065DD04 ,  2F065FF00 ,  2F065FF41 ,  2F065FF49 ,  2F065FF51 ,  2F065GG04 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL30 ,  2F065LL33 ,  2F065LL36 ,  2F065LL46 ,  2F065LL53 ,  2F065QQ13 ,  2F065SS13