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J-GLOBAL ID：200903022089986507

アリールトリフレート化合物、放射線酸発生剤、放射線酸発生剤系及び感放射線組成物

Inventor： 鍛治 誠 ,  エス・ピーター・パーパス
Applicant, Patent owner： 日立化成工業株式会社
Agent (1)： 若林 邦彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992150549
Publication number (International publication number)：1993181265
Application date： Jun. 10, 1992
Publication date： Jul. 23, 1993
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】 放射線酸発生剤として好適なアリールトリフレート化合物およびこれを用いた感放射線組成物を提供する。【構成】 一般式(I)又は(II)で示されるアリールトリフレート化合物、【化1】(式中Xはアルコキシカルボニル基等、Yは水素原子等、lは1〜5の整数、mは1〜5の整数、nは0又は1〜4の整数であり、l+m+nは6とされる)【化2】(式中Rは炭素数1〜22のアルキル基等、Zは水素原子等、qは1〜4の整数、pは0または1〜3の整数であり、p+qは4とされる)、この化合物を含む感放射線組成物等

Claim (excerpt)：

一般式(I)又は(II)で示されるアリールトリフレート化合物。【化1】(式中Xはアルコキシカルボニル基、シアノ基、ニトロ基又はトリフルオロメチル基であり、Yは水素原子、ハロゲン原子、直鎖状又は枝分かれしたアルキル基、アラルキル基又は置換若しくは非置換のフェニル基であり、lは1〜5の整数であり、mは1〜5の整数であり、かつnは0又は1〜4の整数であり、l、mおよびnはl+m+nが6となるように選ばれる)【化2】(式中Rは炭素数1〜22の直鎖状又は枝分かれしたアルキル基、炭素数7〜22のアラルキル基又は置換若しくは非置換のフェニル基であり、Zは水素原子、ハロゲン原子又はアルキル基であり、qは1〜4の整数であり、pは0または1〜3の整数であり、pおよびqはp+qが4となるように選ばれる)

IPC (7)：

G03F 7/004 503 ,  G03F 7/004 515 ,  G03F 7/00 501 ,  G03F 7/029 ,  G03H 1/02 ,  H01L 21/027 ,  H05K 3/00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平4-089459
  
• 特開平2-286654
  
• 特開平2-193972