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J-GLOBAL ID：200903022116429216

感光性組成物

Inventor： 青合 利明 ,  水谷 一良
Applicant, Patent owner： 富士写真フイルム株式会社
Agent (1)： 中村 稔 (外7名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991012540
Publication number (International publication number)：1994027670
Application date： Jan. 11, 1991
Publication date： Feb. 04, 1994
Summary：

【要約】【構成】 下式のポリシロキサン化合物とα-ジアゾケトン化合物、又は2-ジアゾ-1、3-ジケトン化合物とを含有するポジ型感光性組成物。【効果】 水性アルカリ現像が可能で、Deep-UV領域の光源に対する適性及び酸素プラズマ耐性に優れている。【化1】

Claim (excerpt)：

(a)一般式(I)、(II)、(III)または(IV)で表される化合物と、一般式(V)、(VI)、(VII) または(VIII)で表される化合物との環化熱付加反応生成物から由来されるシロキサン単位を少なくとも1モル%含有するポリシロキサン化合物と、(b)α-ジアゾケトン化合物、又は2-ジアゾ-1、3-ジケトン化合物とを含有する感光性組成物。【化1】【化2】【化3】

IPC (7)：

G03F 7/075 511 ,  C08L 83/04 LRT ,  G03F 3/10 ,  G03F 7/00 503 ,  G03F 7/038 505 ,  G03F 7/16 ,  H01L 21/027