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J-GLOBAL ID：200903022128813526

Cr及びFe合金多層膜

Inventor： 竹林 重人 ,  井上 宜治
Applicant, Patent owner： 新日本製鐵株式会社
Agent (1)： 田村 弘明 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992111985
Publication number (International publication number)：1994013235
Application date： Apr. 30, 1992
Publication date： Jan. 21, 1994
Summary：

【要約】【目的】 本発明は、高い飽和磁化と高い透磁率を有するCr及びFe合金多層膜を提供することを目的とする。【構成】 非結晶性基板の上に(100)面が基板に平行に配向した多結晶Cr薄膜のうえに窒素含有量x(原子パーセント)が1<x<20、または、窒素含有量x(原子パーセント)及び酸素含有量y(原子パーセント)が各々1<x<20、0.01<y<20であるFe合金薄膜を窒素含有Fe合金薄膜を作製することで高い飽和磁化と高い透磁率を有する薄膜を得ることができる。Cr(100)配向膜を得るためにガラス薄膜、MgO薄膜を下地としてもよい。

Claim (excerpt)：

基板上に、第一層としてその(100)結晶面が基板に平行に配向したCr薄膜を、前記第一層の上に第二層として窒素含有量x(原子パーセント)が1<x<20(at.%)、または、窒素含有量x(原子パーセント)及び酸素含有量y(原子パーセント)がそれぞれ1<x<20、0.01<y<20であるFe合金薄膜を積層してなることを特徴とするCr及びFe合金多層膜。

IPC (4)：

H01F 10/14 ,  C23C 14/06 ,  H01F 1/14 ,  H01F 10/30