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J-GLOBAL ID：200903022148720400
外観検査装置
Inventor：
,
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
松本 眞吉
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991289963
Publication number (International publication number)：1993010890
Application date： Nov. 06, 1991
Publication date： Jan. 19, 1993
Summary：
【要約】【目的】本発明は、外観検査装置に関し、欠陥判別辞書の作成が容易な外観検査装置を提供することを目的とする。【構成】コード正規化回路701〜709により、互いに対称なパターンのラジアルコードを同一のコードにしてラジアルコードを約1/14に低減し、カテゴリ辞書ROM761〜769でコードを分類してカテゴリに変換することによりコード数を低減し、ニューラルネットワーク78を用いることにより代表的なパターンに対してのみカテゴリを学習させる。
Claim (excerpt)：
試料(1)上に形成されたパターンを撮像する撮像手段(2)と、撮像された画像が2値化されて格納される画像記憶手段(3)と、該2値画像上の一画素から放射状に複数方向に延びた各画素列内のパターン部長さを測定するラジアル測長センサ(4)と、複数方向の該長さの組をコードに変換するコード化手段(5)と、該コードを分類して該パターンの特徴を表すカテゴリに変換するように学習される階層型ニューラルネットワーク(6)と、を有し、該カテゴリに基づいて該パターンが欠陥であるか否かを判別することを特徴とする外観検査装置。
IPC (5)：
G01N 21/88
, G01B 11/24
, G06F 15/18
, G06F 15/62 405
, H05K 3/00
Cited by examiner (8)
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