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J-GLOBAL ID：200903022154338097
CCDカメラによる線幅測定方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
中島 司朗
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991158121
Publication number (International publication number)：1993005606
Application date： Jun. 28, 1991
Publication date： Jan. 14, 1993
Summary：
【要約】【目的】 CCDカメラによる線幅測定方法に関し、対象物上に形成された形状不明の線に対して高速で線幅を検出できるようにした、CCDカメラによる線幅の測定方法を提供することを目的とする。【構成】 対象物上に形成された線L内又は線L外に注目点Pを設定し、注目点Pから放射状に偶数方向に走査して、注目点Pを通過する各直線上の両縁点Pa0,Pa1,Pb0,Pb1,Pc0,Pc1を検出し、各方向の線Lの両縁点Pa0,Pa1,Pb0,Pb1,Pc0,Pc1間の距離|Pa0-Pa1|,|Pb0-Pb1|,|Pc0-Pc1|,|Pd0-Pd1|の最小値を線幅とする構成とする。
Claim (excerpt)：
CCDカメラで読まれた対象物画像上に形成された線内又は線外に注目点を設定し、注目点から放射状に偶数方向に走査して、注目点を通過する線の両縁点を検出し、各方向の線の両縁点間距離を画素数によって演算し、各方向の線の両縁点間距離の最小値を線幅とすることを特徴とするCCDカメラによる線幅測定方法。
IPC (2)：
G01B 11/02
, G06F 15/62 400
