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J-GLOBAL ID：200903022174602653

検査装置及び検査方法

Inventor： 梶山 康一
Applicant, Patent owner： アドモンサイエンス株式会社 ,  日本フェローフルイディクス株式会社
Agent (1)： 西森 正博
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993252074
Publication number (International publication number)：1995270334
Application date： Aug. 31, 1993
Publication date： Oct. 20, 1995
Summary：

【要約】【目的】 精度よく欠陥のみを検出すること。【構成】 第1の演算部21によりCCDセンサー8からの出力信号と第1の遅延回路22からの1周期遅延した出力信号との差の信号を出力する。さらに第2の演算部23により第1の演算部21からの出力信号と第2の遅延回路24からの1周期遅延した出力信号とを比較する。ここで欠陥信号は符号が反対で大きさが等しいという性質があり、この符号が反対で大きさが等しい信号のみを欠陥信号として出力する。したがって第2の演算部23からは欠陥信号がダブらずに出力されるものであり、欠陥信号の確認が容易にできる。しかも欠陥信号のみが出力されて前段で重畳した雑音は除去されるので、雑音による誤検出を防止して、欠陥の検出の信頼性を向上できる。

Claim (excerpt)：

表面に一群のパターンが形成された被検査物(Z)からの透過光ないし反射光を受光するセンサー(8)を備え、このセンサー(8)からの出力信号により被検査物(Z)上のゴミ、傷等の欠陥を検出するようにした検査装置において、上記センサー(8)からの出力信号を1周期遅延させる第1の遅延回路(22)と、センサー(8)からの出力信号と上記第1の遅延回路(22)からの出力信号との差の信号を出力する第1の演算部(21)と、この第1の演算部(21)からの出力信号を1周期遅延させる第2の遅延回路(24)と、上記第1の演算部(21)からの出力信号と上記第2の遅延回路(24)からの出力信号とを比較して欠陥信号として出力する第2の演算部(23)とを備えたことを特徴とする検査装置。

IPC (3)：

G01N 21/88 ,  G01B 11/30 ,  H04N 7/18