Pat
J-GLOBAL ID:200903022187119340
容量検出型センサ
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (7):
棚井 澄雄
, 志賀 正武
, 高橋 詔男
, 杉浦 秀幸
, 鈴木 三義
, 村山 靖彦
, 高柴 忠夫
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2003393810
Publication number (International publication number):2005156291
Application date: Nov. 25, 2003
Publication date: Jun. 16, 2005
Summary:
【課題】 指紋のように微細でかつ所定の面積を有する形状を検出する場合に、製造コストの削減,高い分解能,及びS/N比の大きい検出信号が得られる容量検出型センサを提供する。【解決手段】 本発明の容量検出型センサは、基板上に行配線と列配線をマトリクス状に配設された容量検出型センサであり、前記行配線と列配線との交差部において、該行配線から延在された駆動電極と、該駆動電極と対をなし、駆動電極に隣接して列配線から延在された検出電極と、層間絶縁膜を介して前記駆動電極及び検出電極上部に配設されたフローティング電極とを有し、被検出物と前記フローティング電極との距離に応じて変化する、前記駆動電極から前記検出電極に流れる変位電流を検出することを特徴とする。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
基板上に行配線と列配線をマトリクス状に配設された容量検出型センサであり、
前記行配線と列配線との交差部において、該列配線から延在された駆動電極と、
該駆動電極と対をなし、駆動電極に隣接して行配線から延在された検出電極と、
層間絶縁膜を介して前記駆動電極及び検出電極上部に配設されたフローティング電極と
を有し、
被検出物と前記フローティング電極との距離に応じて変化する、前記駆動電極から前記検出電極に流れる変位電流を検出することを特徴とする容量検出型センサ。
IPC (2):
FI (2):
G01B7/28 A
, G06T1/00 400G
F-Term (16):
2F063AA43
, 2F063BA29
, 2F063BB02
, 2F063BB08
, 2F063BD05
, 2F063BD11
, 2F063CA08
, 2F063CA09
, 2F063DA02
, 2F063DA05
, 2F063DD07
, 2F063HA04
, 2F063LA12
, 5B047AA25
, 5B047BA02
, 5B047BB04
Patent cited by the Patent:
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