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J-GLOBAL ID：200903022193908690

非晶質硬質炭素膜及びその成膜方法

Inventor： 富田 修弘
Applicant, Patent owner： 株式会社ボッシュオートモーティブシステム
Agent (1)： 安孫子 勉
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000050411
Publication number (International publication number)：2001234340
Application date： Feb. 28, 2000
Publication date： Aug. 31, 2001
Summary：

【要約】【課題】 比較的簡素な手順で、耐摩耗性、摺動特性及び密着性の良好な非晶質硬質炭素膜を得ることのできる成膜方法を提供する。【解決手段】 真空に保持された蒸着室1内に対向状態に配設された二つの電極2,3間に、高周波発生器5、パルス変調器6及び整合回路7により、高周波信号をパルス的に、所定の繰り返し周期、所定のパルス幅、所定の高周波電力で印加すると共に、反応ガスを導入してプラズマ反応を生じせしめ、第2の電極3に載置された基板4に非晶質硬質炭素膜を成膜するものである。

Claim (excerpt)：

真空に保持された蒸着室内に第1及び第2の電極を対向状態に配設し、前記第2の電極に高周波信号を発生する信号源を接続し、前記二つの電極間に高圧の高周波信号を印加すると共に、反応ガスを導入してプラズマ反応を生じせしめ、前記第2の電極面に載置された基板に非晶質硬質炭素膜を蒸着により成膜する方法であって、前記高周波信号の前記電極間への印加をパルス的に、所定の繰り返し周期、所定のパルス幅、所定の高周波電力で行い、非晶質硬質炭素膜を得ることを特徴とする非晶質硬質炭素膜の成膜方法。

F-Term (9)：

4K030AA09 ,  4K030BA27 ,  4K030BB05 ,  4K030FA03 ,  4K030JA11 ,  4K030JA16 ,  4K030JA18 ,  4K030LA22 ,  4K030LA23