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J-GLOBAL ID：200903022217671662

X線発生装置

Inventor： 神高 典明 ,  近藤 洋行
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 細江 利昭
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998259060
Publication number (International publication number)：2000089000
Application date： Sep. 14, 1998
Publication date： Mar. 31, 2000
Summary：

【要約】【課題】 ガスを標的材とした軟X線発生装置においても、略軸対称な平行光束が得られるX線発生装置を提供する。【解決手段】 真空容器中に標的ガス供給ノズル1が配置されており、そこから噴出されたガスは、断熱膨張して温度が下がり、クラスターとなる。それにパルスレーザー光2を照射することによりプラズマ3が発生し、プラズマ3から軟X線が放出される。プラズマ3の発生位置は、多層膜回転放物面鏡4の焦点に位置しているので、この軟X線は、多層膜回転放物面鏡4によって反射されてX線平行光束5となり外部に放射される。パルスレーザー光2は、4方向からほぼ同時に照射される。単一のパルス光が照射された場合、軟X線強度の角度分布は照射された側にやや偏っているが、このように4方向から照射することによって、標的ガス供給ノズル1の軸に対してほぼ対称な軟X線強度分布が得られる。

Claim (excerpt)：

排気装置によって減圧可能な容器中に、気体を噴出するノズルが配置され、当該ノズルから間欠的又は連続的に噴出されたガス分子又はそのクラスターに励起エネルギービームを集光してプラズマ化することにより軟X線を発生させるX線発生装置であって、プラズマ生成位置を焦点とする回転放物面形状を有する軟X線反射鏡(回転放物面反射鏡)を備えたことを特徴とするX線発生装置。

IPC (3)：

G21K 5/02 ,  H01L 21/027 ,  H05H 1/24

FI (3)：

G21K 5/02 X ,  H05H 1/24 ,  H01L 21/30 531 S

F-Term (4)：

5F046GA09 ,  5F046GB01 ,  5F046GB09 ,  5F046GC03