Pat

J-GLOBAL ID：200903022219861906

感放射線性樹脂組成物

Inventor： 樽谷 晋司 ,  亀山 泰弘
Applicant, Patent owner： シップレーカンパニー エル エル シー
Agent (1)： 千田 稔 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000192072
Publication number (International publication number)：2002023369
Application date： Jun. 27, 2000
Publication date： Jan. 23, 2002
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】 解像度、焦点深度、寸法制御性、耐熱性が優れており、特にハーフトーンマスクを用いてホールパターンを形成したときのディンプル耐性が優れており、且つ広いフォーカスマージンを発現するところの感放射線性組成物の提供。【解決手段】 アルカリ不溶性又はアルカリ難溶性であって酸の作用によってアルカリ可溶性となる樹脂成分(A)と光又は電子線により酸を発生する化合物(B)とを含有する感放射線性樹脂組成物であって、(A)が下記一般式[1]ないし[4]で表される重合単位を少なくとも一個含み、且つ(A)に含まれる樹脂全体として重合単位[1]、[2]、[3]及び[4]を全て含むことを特徴とする感放射線性樹脂組成物。

Claim (excerpt)：

アルカリ不溶性又はアルカリ難溶性であって酸の作用によってアルカリ可溶性となる樹脂成分(A)と光又は電子線により酸を発生する化合物(B)とを含有する感放射線性樹脂組成物であって、(A)が下記一般式[1]ないし[4]で表される重合単位を少なくとも一個含み、且つ(A)に含まれる樹脂全体として重合単位[1]、[2]、[3]及び[4]を全て含むことを特徴とする感放射線性樹脂組成物。【化1】(式[1]ないし[4]において、R1 、R5 、R7 及びR9 は、それぞれ独立して、水素原子、炭素数1〜10のアルキル基、炭素数2〜10のアルケニル基、炭素数2〜10のアルキニル基、炭素数7〜10のアラルキル基、又は炭素数1〜10のアルコキシ基を示し、R2 及びR3 は、それぞれ独立して、水素原子、炭素数1〜10のアルキル基、炭素数2〜10のアルケニル基、炭素数2〜10のアルキニル基、炭素数7〜10のアラルキル基、又は炭素数1〜10のアルコキシ基を示し、R4 は炭素数1〜20のアルキル基を示し、R6 及びR8 は、それぞれ独立して、炭素数1〜20の有機残基を示す。なお、R3 とR4 とは、互いに結合して環-OR′-基(但し、R′は炭素数1〜20のアルキレン基、炭素数2〜20のアルケニレン基又は炭素数2〜20のアルキニレン基を示す)を形成してもよい)

IPC (7)：

G03F 7/039 601 ,  C08F212/14 ,  C08K 5/00 ,  C08K 5/053 ,  C08L 25/18 ,  G03F 7/004 501 ,  C08F220:10

FI (7)：

G03F 7/039 601 ,  C08F212/14 ,  C08K 5/00 ,  C08K 5/053 ,  C08L 25/18 ,  G03F 7/004 501 ,  C08F220:10

F-Term (61)：

2H025AA00 ,  2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AA10 ,  2H025AB16 ,  2H025AC06 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BG00 ,  2H025CC20 ,  2H025FA03 ,  2H025FA12 ,  2H025FA17 ,  4J002BC12W ,  4J002BC12X ,  4J002EB046 ,  4J002EB076 ,  4J002EB106 ,  4J002EC047 ,  4J002EC057 ,  4J002EU186 ,  4J002EU196 ,  4J002EV216 ,  4J002EV236 ,  4J002EV256 ,  4J002EV266 ,  4J002EV296 ,  4J002FD206 ,  4J002FD207 ,  4J002GP03 ,  4J100AB07P ,  4J100AB07Q ,  4J100AB07R ,  4J100AL03S ,  4J100AL04S ,  4J100AL05S ,  4J100AL08S ,  4J100AL16S ,  4J100BA02Q ,  4J100BA03P ,  4J100BA04Q ,  4J100BA04S ,  4J100BA05Q ,  4J100BA05S ,  4J100BA06Q ,  4J100BA06S ,  4J100BA15R ,  4J100BC03Q ,  4J100BC04Q ,  4J100BC04S ,  4J100BC07R ,  4J100BC09R ,  4J100BC09S ,  4J100BC43R ,  4J100BC52S ,  4J100BC53Q ,  4J100CA04 ,  4J100CA05 ,  4J100CA06 ,  4J100DA39 ,  4J100JA38

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 感放射線性樹脂組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-258876   Applicant：ジェイエスアール株式会社
• 感放射線性組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-245744   Applicant：三菱化学株式会社