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J-GLOBAL ID:200903022238809192

電子放出素子、電子源、表示パネルおよび画像形成装置の製造方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 伊東 哲也 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1996171654
Publication number (International publication number):1998003851
Application date: Jun. 12, 1996
Publication date: Jan. 06, 1998
Summary:
【要約】【課題】 基板上の対向する電極間に付与した液滴のドット径が、所望の大きさ以上に広がることがなく、液滴の溶媒が蒸発することのない表面伝導型電子放出素子、この素子を用いた電子源、表示パネルおよび画像形成装置の製造方法を提供する。【解決手段】 基板上の対向する電極間に、導電性薄膜形成用材料を含む溶液の液滴を付与して導電性薄膜を形成し、該導電性薄膜の一部に電子放出部を形成する電子放出素子の製造方法であって、前記液滴の付与を湿度が70%以下に保持された雰囲気下にて行うことを特徴とする電子放出素子の製造方法。
Claim (excerpt):
基板上の対向する電極間に、導電性薄膜形成用材料を含む溶液の液滴を付与して導電性薄膜を形成し、該導電性薄膜の一部に電子放出部を形成する電子放出素子の製造方法であって、前記液滴の付与を湿度が70%以下に保持された雰囲気下にて行うことを特徴とする電子放出素子の製造方法。
IPC (3):
H01J 9/02 ,  H01J 1/30 ,  H01J 31/12
FI (3):
H01J 9/02 B ,  H01J 1/30 B ,  H01J 31/12 C
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (1)

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