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J-GLOBAL ID：200903022247957110

光学素子及びその製造方法、露光装置、デバイス製造方法、並びに、デバイス

Inventor： 加藤 日出夫 ,  酒井 啓太
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 藤元 亮輔
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001076179
Publication number (International publication number)：2002275278
Application date： Mar. 16, 2001
Publication date： Sep. 25, 2002
Summary：

【要約】【課題】 量産が容易で 紫外光、遠紫外光及び真空紫外光の透過率が高い光学素子及びその製造方法、露光装置、デバイス製造方法、並びに、デバイスを提供する。【解決手段】 本発明の一側面としての製造方法は、透明な弗素樹脂部を有する物品を製造する方法であって、弗素樹脂を蒸発させるステップと、前記蒸発した弗素樹脂を冷却することにより前記透明樹脂部を形成するステップとを有する。かかる製造方法より製造される物品(光学素子)は、弗素系から構成されているので紫外線の吸収が小さいので、紫外光、遠紫外光、真空紫外光を利用する露光装置に適用可能である。

Claim (excerpt)：

透明な弗素樹脂部を有する物品を製造する方法であって、弗素樹脂を蒸発させるステップと、前記蒸発した弗素樹脂を冷却することにより前記透明樹脂部を形成するステップとを有する製造方法。

IPC (10)：

C08J 5/00 CEW ,  B29C 39/02 ,  B29C 43/18 ,  C08J 7/04 ,  C23C 14/12 ,  G02B 1/00 ,  G02B 3/00 ,  G03F 7/20 502 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

FI (10)：

C08J 5/00 CEW ,  B29C 39/02 ,  B29C 43/18 ,  C08J 7/04 Z ,  C23C 14/12 ,  G02B 1/00 ,  G02B 3/00 Z ,  G03F 7/20 502 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 D

F-Term (57)：

2H097BA02 ,  2H097CA12 ,  2H097CA13 ,  2H097LA10 ,  4F006AA18 ,  4F006AB19 ,  4F006AB73 ,  4F006BA00 ,  4F006BA14 ,  4F006BA15 ,  4F006CA05 ,  4F006DA01 ,  4F006DA05 ,  4F006EA05 ,  4F071AA26 ,  4F071AA27 ,  4F071AF30 ,  4F071AF54 ,  4F071AH15 ,  4F071AH19 ,  4F071BA01 ,  4F071BB03 ,  4F071BC01 ,  4F071BC03 ,  4F204AA16 ,  4F204AA17 ,  4F204AD02 ,  4F204AG03 ,  4F204EB01 ,  4F204EF01 ,  4F204EF05 ,  4F204EF23 ,  4F204EF30 ,  4F204EF49 ,  4F204EK13 ,  4F204EK15 ,  4F204FA01 ,  4F204FB01 ,  4F204FF01 ,  4F204FF05 ,  4F204FF23 ,  4F204FF49 ,  4F204FN11 ,  4K029AA08 ,  4K029AA21 ,  4K029BA62 ,  4K029BC07 ,  4K029CA01 ,  4K029CA05 ,  4K029DB18 ,  4K029GA00 ,  5F046BA03 ,  5F046CA08 ,  5F046CB01 ,  5F046CB12 ,  5F046CB23 ,  5F046CB25