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J-GLOBAL ID：200903022330714769

投影露光装置

Inventor： 鈴木 武彦
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 伊東 哲也 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992204285
Publication number (International publication number)：1994029181
Application date： Jul. 09, 1992
Publication date： Feb. 04, 1994
Summary：

【要約】【目的】 投影露光装置における照明系の寿命の延長を図り、もって装置の稼働率の向上を図る。【構成】 照明光を連続的に出射する照明光源1と、該照明光を露光位置まで導く照明光学系2,4〜11,14,15と、照明光路内に配置され露光シーケンス中だけ開く露光用シャッター13とを具備する投影露光装置において、該露光用シャッターとは別に、前記照明光学系の全部または大部分および露光用シャッターより前記照明光源側の照明光路内に配置され露光シーケンスに先立って開き、露光シーケンス終了後に閉じる第2シャッター3を設ける。

Claim (excerpt)：

照明光を連続的に出射する照明光源と、該照明光を露光位置まで導く照明光学系と、照明光路内に配置され露光シーケンス中だけ開く露光用シャッターと、該露光用シャッターとは別に、前記照明光学系の全部または大部分および露光用シャッターより前記照明光源側の照明光路内に配置され露光シーケンスに先立って開き、露光シーケンス終了後に閉じる第2シャッターとを具備することを特徴とする投影露光装置。

IPC (2)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (2)：

H01L 21/30 311 L ,  H01L 21/30 311 S