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J-GLOBAL ID：200903022333030496

インクジェットヘッドの製造方法

Inventor： 伊藤 進 ,  谷 直彦
Applicant, Patent owner： ブラザー工業株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995165407
Publication number (International publication number)：1997011482
Application date： Jun. 30, 1995
Publication date： Jan. 14, 1997
Summary：

【要約】【目的】 圧電体の表面に形成された導電層の一部を効率よく除去することで、高密度に配列した圧電アクチュエータに対応した電極を高精度で且つ低コストに形成するインクジェットヘッドの製造方法を提示することを目的とする。【構成】 圧電体1の表面一面に形成された導電層からなる電極9を超音波加工機20を用いて独立した複数の電極に分割する。具体的には、高周波数で振動する超音波加工チップ14を圧電セラミックス基盤1に接触させて高周波数で駆動させることにより、砥粒16を打ち込み、研削・研磨加工を行なう。結果、圧電側壁7の上端に位置する表面電極11を除去し、絶縁部を形成し、高密度に配列した圧電アクチュエータに対応した複数の電極を形成する。

Claim (excerpt)：

インクが充填されたインク液室と、前記インク液室を構成し、且つ分極された圧電部で少なくとも一部が構成された側壁と、前記圧電部に分極方向と略直交する駆動電界を発生するために前記側壁に形成された駆動電極とを備えたアクチュエータを有し、前記駆動電極より印加される電界を受けて、圧電厚みすべり効果により前記側壁が変形し、前記インク液室内のインクに圧力を与えてインクを噴射するインクジェットヘッドの製造方法であって、少なくとも一部が厚み方向に分極された圧電材料からなる圧電体プレートに、厚み方向を深さとする溝部を形成する第1の工程と、少なくとも前記溝部が形成された側の表面全体に導電性膜を形成する第2の工程と、前記側壁の上端部に形成された導電性膜を超音波砥粒加工により除去し、前記導電性膜を溝部毎に独立した電極に分割する第3の工程と、前記溝部の開口部を覆うように、前記圧電体プレートの上層にカバープレートを接着する第4の工程とを有することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。

IPC (3)：

B41J 2/16 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055

FI (2)：

B41J 3/04 103 H ,  B41J 3/04 103 A