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J-GLOBAL ID：200903022358565211

表面異物検査装置及びそれを用いた表面異物分類方法

Inventor： 吉井 成次 ,  広藤 裕一
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 前田 弘 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995002395
Publication number (International publication number)：1996189896
Application date： Jan. 11, 1995
Publication date： Jul. 23, 1996
Summary：

【要約】【目的】 半導体ウエハー2上の異物9の検査を行い、かつその異物を分類する場合において、異物9の分類を自動的に、精度よく行えるようにする。【構成】 半導体ウエハー2上に入射レーザ光4を照射し、出てきた異物9からの散乱光10を、空間的に移動可能な受光器18、又は分割して配置された複数個の受光器18を用いて独立に検出する。検出した信号を受光器18の位置毎にデータ処理し、既存の異物データ群と比較して自動的に異物分類する。従来の光学顕微鏡を使った目視による異物分類を自動で可能にし、分類結果をデータベース化することにより、散乱光強度、強度分布、ウエハー面異物の分布、サイズ分布から異物発生源の特定を迅速にすることが可能になる。

Claim (excerpt)：

被検査物の表面へレーザ光を照射してその散乱光により異物を検査するようにしたレーザ散乱方式の表面異物検査装置において、被検査物の表面への入射レーザ光軸の回りに回転し、かつ異物散乱光を受光して電気信号を出力する受光手段と、前記受光手段の回転位置に対応した異物散乱光による電気信号を処理して異物を検出する信号処理部とを備えたことを特徴とする表面異物検査装置。

IPC (2)：

G01N 21/88 ,  H01L 21/66