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J-GLOBAL ID：200903022363162451

固定砥粒ワイヤソー

Inventor： 塚田 修一 ,  田子 一弘
Applicant, Patent owner： 株式会社東京精密
Agent (1)： 松浦 憲三
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997261770
Publication number (International publication number)：1999099465
Application date： Sep. 26, 1997
Publication date： Apr. 13, 1999
Summary：

【要約】【課題】ガイドローラやグルーブローラに生じる磨耗を抑制することができる固定砥粒ワイヤソーの提供。【解決手段】ガイドローラ20とグルーブローラ22の表面を、固定砥粒付ワイヤ14の表面に固着された砥粒と同程度の硬度を有する物質でコーティングする。これにより、ガイドローラ20とグルーブローラ22の耐磨耗性が向上する。

Claim (excerpt)：

一対のワイヤリール間を複数のガイドローラにガイドされながら走行する固定砥粒付ワイヤを複数個のグルーブローラに巻き掛けてワイヤ列を形成し、その走行するワイヤ列に被加工物を押し当てることにより、被加工物を多数のウェーハに切断する固定砥粒ワイヤソーにおいて、前記ガイドローラ及び/又はグルーブローラの表面を、前記固定砥粒付ワイヤの表面に固着された砥粒と同程度の硬度を有する物質でコーティングしたことを特徴とする請求項1記載の固定砥粒ワイヤソー。

IPC (3)：

B24B 27/06 ,  B28B 5/04 ,  B28D 1/08

FI (3)：

B24B 27/06 G ,  B28B 5/04 ,  B28D 1/08