固体撮像素子およびその駆動方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：若林忠
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996296760
Publication number (International publication number)：1998144906
Application date： Nov. 08, 1996
Publication date： May. 29, 1998
Summary：

【要約】【課題】本発明の目的は、低コスト・低消費電力で、構造上段差が少なく、光学特性の良い全画素読み出し方式の固体撮像素子およびその駆動方法を提供する。【解決手段】電荷転送部111は、2層の転送電極膜で構成され、電荷転送部111に形成された転送電極121a〜121c、122c〜122eは、単位画素当り3つの独立した転送電極から構成され、単位画素当り1つの転送電極121a、122dは、光電変換部110に挟まれて孤立した島状に形成され、残りの転送電極は、光電変換部間の行方向の間隙の渡し部112を通って延伸し、半導体基板の周辺部に配置されたバスラインに接続され、導電性の遮光膜124は、島状に形成された転送電極121a、122dに接続されると共に、半導体基板の周辺部に配置されたバスラインに接続され、駆動パルスの印加および遮光の働きを兼備している。

Claim (excerpt)：

半導体基板上に列方向と行方向に整列して複数設けられた単位画素である光電変換部と、前記光電変換部の列方向の間隙に配設され前記光電変換素子から発生した信号電荷を列方向と同じ垂直転送方向に転送する電荷転送部と、前記電荷転送部を覆うように配設された導電性の遮光膜とを有するインターライン転送型の固体撮像素子において、前記電荷転送部は、転送電極の形成された少なくとも2層の転送電極膜で構成され、前記電荷転送部に形成された前記転送電極は、前記単位画素当り少なくとも3つの独立した転送電極から構成され、前記単位画素当り少なくとも3つの独立した転送電極の内、少なくとも1つの転送電極は、前記光電変換部に挟まれて孤立した島状に形成され、残りの転送電極は、前記光電変換部間の行方向の間隙を通って延伸し、前記半導体基板の周辺部に配置されたバスラインに接続され、前記導電性の遮光膜は、前記光電変換部に挟まれて島状に形成された前記転送電極に接続されると共に、前記半導体基板の周辺部に配置されたバスラインに接続され、駆動パルスの印加および遮光の働きを兼備している、ことを特徴とする固体撮像素子。

IPC (3)：

H01L 27/148 , H01L 29/762 , H01L 21/339

FI (2)：

H01L 27/14 B , H01L 29/76 301 B

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

特開昭62-208668
半導体装置の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-344934 Applicant：日本電気株式会社
固体撮像装置及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-006183 Applicant：株式会社日立製作所

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