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J-GLOBAL ID:200903022398863967
超臨界および亜臨界流体を用いた洗浄方法
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Agent (1):
渡辺 一豊
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1995095151
Publication number (International publication number):1996290128
Application date: Apr. 20, 1995
Publication date: Nov. 05, 1996
Summary:
【要約】【目的】 優れた溶解力をもつ超臨界流体による洗浄を更にパワーアップさせて靴等の難洗浄物をも洗浄可能とする。【構成】 耐圧洗浄器3内にて被洗浄物5を必要に応じてエントレーナを添加した超臨界および亜臨界流体6に浸漬し、次いで該耐圧洗浄器3内の該流体6を洗浄器3外に急速に流出させること、あるいは該洗浄器3内容積を急速に拡大させることにより該流体6密度を急速に膨脹させることで汚染物質表面で強い攪乱あるいは大量の気泡を発生させ、この流れ作用あるいはバブリング作用でもって汚染物質を迅速に強制剥離・強制溶解させて被洗浄物5の洗浄を行うとした。
Claim (excerpt):
耐圧洗浄器内にて被洗浄物を必要に応じてエントレーナを添加した超臨界および亜臨界流体に浸漬し、次いで該耐圧洗浄器内の該流体を洗浄器外に急速に流出させること、あるいは該洗浄器内容積を急速に拡大させることにより該流体密度を急速に膨脹させることで汚染物質表面で強い攪乱あるいは大量の気泡を発生させ、この流れ作用あるいはバブリング作用でもって汚染物質を迅速に強制剥離・強制溶解させて被洗浄物の洗浄を行うことを特徴とする超臨界および亜臨界流体を用いた洗浄方法。
IPC (2):
B08B 3/00
, H01L 21/304 341
FI (2):
B08B 3/00
, H01L 21/304 341 M
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