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J-GLOBAL ID：200903022416619254

感光性組成物

Inventor： 小林 嘉仁 ,  大西 廉伸 ,  仁木 博一
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991353015
Publication number (International publication number)：1993045883
Application date： Dec. 18, 1991
Publication date： Feb. 26, 1993
Summary：

【要約】【目的】本発明は、deepUV等の波長の短い放射線での露光を適用でき、かつドライエッチング耐性に優れ、更に露光後にアルカリ水溶液による現像での許容性を大きくでき、良好な断面形状を有する微細なパタ-ンを形成が可能な感光性組成物を提供しようとするものである。【構成】(A)アルカリ可溶性重合体と、(B)酸により分解する置換基を有する有機化合物からなる溶解抑止剤と、(C)光照射により酸を発生する化合物と、(D)光照射により発生した酸の拡散を抑制する化合物とを含むことを特徴とする。

Claim (excerpt)：

(A)アルカリ可溶性重合体と、(B)酸により分解する置換基を有する有機化合物からなる溶解抑止剤と、(C)光照射により酸を発生する化合物と、(D)下記化1、化2、化3の一般式(I) 、(II)、(III) にて表される化合物と、を含むことを特徴とする感光性組成物。【化1】ただし、式(I) 中のX1 はO原子又はS原子、X2 はN原子又はCR4 基を示す。R1 〜R3 及び前記CR4 基のR4 は、同一であっても異なってもよく、それぞれ非置換もしくは置換複素環基、非置換もしくは置換芳香族炭化水素基、非置換もしくは置換脂肪族炭化水素基、非置換もしくは置換脂環式炭化水素基、その他種々の特性基、又は水素原子を示す。なお、R2 とR3 で炭化水素環基又は複素環基を形成してもよい。【化2】ただし、式(II)中のX3 はO原子又はS原子、X4 はN原子又はCR7 基を示す。R5 、R6 及び前記CR7 基のR7 は、同一であっても異なってもよく、それぞれ非置換もしくは置換複素環基、非置換もしくは置換芳香族炭化水素基、非置換もしくは置換脂肪族炭化水素基、非置換もしくは置換脂環式炭化水素基、その他種々の特性基、又は水素原子を示す。【化3】ただし、式(III) 中のX5 はO原子又はS原子、X6はN原子又はCR11基を示す。R8 〜R10及び前記CR11基のR11は、同一であっても異なってもよく、それぞれ非置換もしくは置換複素環基、非置換もしくは置換芳香族炭化水素基、非置換もしくは置換脂肪族炭化水素基、非置換もしくは置換脂環式炭化水素基、その他種々の特性基、又は水素原子を示す。なお、R9 とR10で炭化水素環基又は複素環基を形成してもよい。

IPC (13)：

G03F 7/039 501 ,  C08K 5/353 KBP ,  C08K 5/41 KBU ,  C08K 5/46 KBW ,  C08K 5/54 KCD ,  C08L101/00 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/029 ,  G03F 7/038 ,  G03F 7/075 511 ,  H01L 21/00 ,  H01L 21/027