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J-GLOBAL ID：200903022421872944

不等間隔回折格子の製造方法

Inventor： 石井 哲也
Applicant, Patent owner： オリンパス光学工業株式会社
Agent (1)： 篠原 泰司 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992104738
Publication number (International publication number)：1993297209
Application date： Apr. 23, 1992
Publication date： Nov. 12, 1993
Summary：

【要約】【目的】 回折格子面内の異なる領域において夫々所望の回折次数で最適化された、断面形状が鋸歯に加工された不等間隔回折格子を提供する。【構成】 第1の工程で高次の回折光について回折効率が最適化された鋸歯状の断面形状を有する不等間隔回折格子(L')を形成する。第2の工程でこの回折格子面内の任意の領域において、エッチングにより鋸歯形状を保ったまま断面構造を分割して、より低次の回折光の回折効率が最適化され且つ所望の回折角がその回折光で達成された領域を形成し、不等間隔回折格子(L) を得る。

Claim (excerpt)：

任意の次数の回折光について、ある所定の回折効率を満足するような鋸歯状の断面形状を有する不等間隔回折格子を形成する第1の工程と、該第1の工程で形成された不等間隔回折格子の任意の領域において、鋸歯形状を保ったまま断面構造を分割し又は結合することによって、より低次又は高次の回折光の回折効率が最適化され、且つ、所望の回折角が該低次又は高次の回折光で達成された領域を形成する第2の工程とから成る、不等間隔回折格子の製造方法。