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J-GLOBAL ID：200903022422604358
表面欠陥検査方法および同検査装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
清水 久義 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994262230
Publication number (International publication number)：1996122261
Application date： Oct. 26, 1994
Publication date： May. 17, 1996
Summary：
【要約】【目的】 ワーク表面に形成された、深さが浅くしかもなだらかな形状を呈する比較的大きな表面欠陥の有無を、高精度に検査できる表面欠陥検査方法および同装置を提供する。【構成】 ワークAの表面に光を照射するための光源1と、ワーク表面の撮像すべき所定領域Bからの反射光を受領する撮像装置2と、該撮像装置2によって撮像された画像の濃淡から表面欠陥の有無を検出する欠陥検出部4とを設ける。更に、光源1とワークAとの間に、前記撮像すべき所定領域Bへの直射光を制限し該領域Bの間接的な照射を許容せしめる直射光制限部材11を配設する。
Claim (excerpt)：
ワークの表面に照射された反射光を受領してワーク表面の画像を撮像し、その画像の濃淡から表面欠陥の有無を検出する表面欠陥検出方法において、ワークの表面に光を照射するに際し、撮像すべき所定領域を間接光にて照射することを特徴とする、表面欠陥検査方法。
IPC (3)：
G01N 21/88
, G01N 21/84
, G06T 7/00
