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J-GLOBAL ID：200903022555202155

磁気ヘッドの製造方法

Inventor： 深澤 克也 ,  藤沢 政泰 ,  今山 寛隆 ,  萩原 芳樹
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 武 顕次郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992222829
Publication number (International publication number)：1994063865
Application date： Aug. 21, 1992
Publication date： Mar. 08, 1994
Summary：

【要約】【目的】 加工コストが比較的安価な噴射加工法を用いた磁気ヘッド用スライダの製造方法において、マスク接着後の被加工面における不要部位(被加工部位面)に被着した接着層を容易・確実に除去でき、また、スライダ材に被加工面にこびり付いた硬質パウダを容易・確実に除去でき、以って、加工精度に優れ、より一層高性能な磁気ヘッドを実現すること。【構成】 噴射加工による磁気ヘッド用スライダの加工において、パターニングした金属製フィルムを圧着または接着する工程において用いた接着剤または接着フィルムを、パターニングした形状に合わせて軟質パウダを用いた噴射加工によって除去する工程と、スライダ材の被加工面に付着した硬質パウダを軟質パウダを用いた噴射加工によって除去する工程とを、設ける。

Claim (excerpt)：

空気ベアリング面を成すための溝を有するスライダを持つ磁気ヘッドの製造方法において、噴射加工されにくい金属製フィルム上に感光性レジストを塗布し、フォトリソグラフィ技術を用いて所定形状のレジストマスクを形成する工程と、前記レジストマスクを用いて前記金属製フィルムを湿式エッチングによりパターニングする工程と、磁気ヘッドのスライダ材の被加工面上に前記パターニングした金属製フィルムを圧着または接着する工程と、前記金属製フィルムを圧着または接着する工程において用いた接着剤または接着フィルムを、前記パターニングした形状に合わせて軟質パウダを用いた噴射加工によって除去する工程と、前記パターニングされた金属製フィルムをマスクとして、前記スライダ材の被加工面を硬質パウダを用いて噴射加工する工程と、前記スライダ材の被加工面に付着した前記硬質パウダを、軟質パウダを用いた噴射加工によって除去する工程と、前記スライダ材の被加工面上の接着層または接着フィルムを溶かすことにより、前記金属製フィルムの残膜を剥離する工程と、を少なくとも有していることを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。

IPC (3)：

B24C 1/04 ,  G11B 5/60 ,  G11B 21/21 101