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J-GLOBAL ID：200903022569076209

蒸着用成形物およびそれを用いた真空蒸着方法

Inventor： 森田 真治 ,  広川 敦 ,  町田 敏則
Applicant, Patent owner： 東洋インキ製造株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994128761
Publication number (International publication number)：1995331419
Application date： Jun. 10, 1994
Publication date： Dec. 19, 1995
Summary：

【要約】【目的】蒸着加工中の熱衝撃による破損を生じないばかりでなく、蒸着までの蒸着用蒸着用成形物の運搬、原料供給機構への充填等のハンドリングに耐えうる成形強度を有する蒸着用成形物およびその成形物を用いた蒸着方法の提供。【構成】珪素および珪素酸化物を成形してなり、密度が1.2〜1.4g/cm3である蒸着用成形物、珪素/非結晶性二酸化珪素/結晶性二酸化珪素の混合物からなる蒸着用成形物、珪素/非結晶性二酸化珪素/二酸化珪素と酸化マグネシウムの共酸化物の混合物からなる蒸着用成形物、および該蒸着用成形物を用い、温度1300〜1500°C,真空度1×10-2〜1×10-5torrの範囲内で真空蒸着する真空蒸着方法。【効果】プラスチックフィルム表面に、高品質の珪素酸化物を安定して真空蒸着することができる。

Claim (excerpt)：

珪素および珪素酸化物を成形してなり、密度が1.2〜1.4g/cm3 であることを特徴とする蒸着用成形物。

IPC (2)：

C23C 14/24 ,  C23C 14/10

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 蒸着材料とその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-210137   Applicant：東洋紡績株式会社, 住友シチックス株式会社
• 特開平4-353531
  
• 特開平4-353532
  
• 特開平1-252768