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J-GLOBAL ID：200903022586456368

光記録媒体及びその製造方法

Inventor： 高田 國夫 ,  宮越 俊守 ,  安達 俊男 ,  小金井 昭雄 ,  本宮 一興
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 丸島 儀一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994067205
Publication number (International publication number)：1994342535
Application date： Apr. 05, 1994
Publication date： Dec. 13, 1994
Summary：

【要約】【目的】 反りや撓み等の変形を抑えつつ、再生信号のC/N比を高いレベルで長期間安定的に維持することのできる光記録媒体を製造する方法を提供することを目的とする。【構成】 基板上に記録膜及び無機誘電体膜の積層膜を有する光記録媒体の製造方法に於いて該無機誘電体膜をヘリコン波CVD法を用いて成膜することを特徴とする。【効果】 ヘリコン波CVD法を用いることによって内部応力が低く且つ記録膜の保護性能に優れた無機誘電体膜を成膜することができる。

Claim (excerpt)：

基板上に記録膜及び無機誘電体膜の積層膜を有する光記録媒体の製造方法に於いて、該無機誘電体膜をヘリコン波プラズマCVD法を用いて成膜することを特徴とする光記録媒体の製造方法。

IPC (4)：

G11B 7/26 531 ,  G11B 7/24 536 ,  G11B 7/24 537 ,  G11B 11/10 541