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J-GLOBAL ID：200903022588023400

多層膜光学部材

Inventor： 池田 浩
Applicant, Patent owner： オリンパス光学工業株式会社
Agent (1)： 奈良 武
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992355899
Publication number (International publication number)：1994186403
Application date： Dec. 18, 1992
Publication date： Jul. 08, 1994
Summary：

【要約】【目的】 薄膜の内部応力による変形を防ぐ。【構成】 多層膜を構成する各物質のうち、圧縮応力を持つ物質の応力s<SB>11</SB>,s<SB>12</SB>,s<SB>13</SB>,・・・・、それぞれの物質の多層膜における物理的膜厚の合計をd<SB>11</SB>,d<SB>12</SB>,d<SB>13</SB>,・・・とし、s<SB>11</SB>×d<SB>11</SB>+s<SB>12</SB>×d<SB>12</SB>+s<SB>13</SB>×d<SB>13</SB>+・・・をS<SB>1 </SB>とする。一方、引張応力を持つ物質の応力をs<SB>21</SB>,s<SB>22</SB>,s<SB>23</SB>,・・・、それぞれの物質の多層膜における物理的膜厚の合計をd<SB>21</SB>,d<SB>22</SB>,d<SB>23</SB>,・・・とし、の角度で傾くように配置する。s<SB>21</SB>×d<SB>21</SB>+s<SB>22</SB>×d<SB>22</SB>+s<SB>23</SB>×d<SB>23</SB>+・・・をS<SB>2 </SB>とする。そして、光学性能に影響を与えず、かつ、2/3<S<SB>1 </SB>/S<SB>2 </SB><3/2なる関数を満足できるようにする調整層を多層膜の少なくとも1層に設ける。

Claim (excerpt)：

基板と、この基板の表面に成膜した多層膜からなる多層膜光学部材において、上記多層膜を構成する各物質のうち、圧縮応力を持つ物質の応力をs<SB>11</SB>,s<SB>12, </SB>s<SB>13</SB>,・・・・・・、それぞれの物質の多層膜における物理的膜厚の合計をd<SB>11</SB>,d<SB>12</SB>,d<SB>13</SB>,・・・・・・として、S<SB>1 </SB>をs<SB>11</SB>×d<SB>11</SB>+s<SB>12</SB>×d<SB>12</SB>+s<SB>13</SB>×d<SB>13</SB>+・・・・・・とし、同様に、引張応力を持つ物質の応力をs<SB>21, </SB>s<SB>22, </SB>s<SB>23</SB>,・・・・・・、それぞれの物質の多層膜における物理的膜厚の合計をd<SB>21</SB>,d<SB>22</SB>,d<SB>23</SB>,・・・・・・として、S<SB>2 </SB>をs<SB>21</SB>×d<SB>21</SB>+s<SB>22</SB>×d<SB>22</SB>+s<SB>23</SB>×d<SB>23</SB>+・・・・・・としたとき、光学性能に影響を与えず、かつ、2/3<S<SB>1 </SB>/S<SB>2 </SB><3/2なる関係を満足できるようにする調整層を多層膜の少なくとも1層に設けたことを特徴とする多層膜光学部材。