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J-GLOBAL ID：200903022620048428

強誘電体薄膜形成剤

Inventor： 松浦 正弥 ,  厚木 勉 ,  影山 謙介 ,  小木 勝実
Applicant, Patent owner： 三菱マテリアル株式会社
Agent (1)： 重野 剛
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997004570
Publication number (International publication number)：1998199336
Application date： Jan. 14, 1997
Publication date： Jul. 31, 1998
Summary：

【要約】【課題】 強誘電体薄膜形成剤を基板上に塗布、焼成して強誘電体薄膜を形成するに当り、ストリエーションのない均質な塗膜を形成する。【解決手段】 (Sr<SB>X </SB>Bi<SB>1-X </SB>)Bi<SB>2 </SB>(Ta<SB>Y </SB>Nb<SB>1-Y </SB>)<SB>2 </SB>O<SB>Z </SB>(0.4≦X<1,0≦Y≦1,Zは各金属元素に付随する酸素原子の数)系強誘電体薄膜形成剤の有機溶媒として、1-アルコキシ-2-プロパノール及びそのカルボン酸エステル並びにC<SB>6 </SB>H<SB>12</SB>O<SB>2 </SB>の分子式を持つカルボン酸とエタノールとのエステルの1種又は2種以上を用いる。【効果】 ストリエーションのない均質な塗膜を形成することができ、この塗膜を焼成することで、誘電特性に関して再現性のある強誘電体薄膜を形成することができる。

Claim (excerpt)：

有機金属化合物を有機溶媒に溶解してなる、(Sr<SB>X </SB>Bi<SB>1-X </SB>)Bi<SB>2 </SB>(Ta<SB>Y </SB>Nb<SB>1-Y </SB>)<SB>2 </SB>O<SB>Z </SB>(ただし、0.4≦X<1,0≦Y≦1で、Zは各金属元素に付随する酸素原子の数の合計を示す。)の組成を有する強誘電体薄膜を形成するための強誘電体薄膜形成剤において、該有機溶媒として、1-アルコキシ-2-プロパノール及びそのカルボン酸エステル並びにC<SB>6 </SB>H<SB>12</SB>O<SB>2 </SB>の分子式を持つカルボン酸とエタノールとのエステルよりなる群から選ばれる1種又は2種以上の混合溶媒を用いたことを特徴とする強誘電体薄膜形成剤。

IPC (3)：

H01B 3/12 312 ,  H01B 3/00 ,  C01B 13/32

FI (3)：

H01B 3/12 312 ,  H01B 3/00 F ,  C01B 13/32