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J-GLOBAL ID：200903022622979755

表面処理方法およびそれを用いた薄膜磁気ヘッドの製造方法と薄膜磁気ヘッド

Inventor： 野口 利光 ,  菊池 廣 ,  斉木 教行 ,  西田 哲也
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 沼形 義彰 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001002157
Publication number (International publication number)：2002212779
Application date： Jan. 10, 2001
Publication date： Jul. 31, 2002
Summary：

【要約】【課題】 めっき処理やウェットエッチング処理の不良をなくすために表面の濡れ性を向上させる際に、フォトレジストおよび下地へのダメージを減らした表面処理方法を提供する。【解決手段】 表面にフォトレジスト31をパターニングした表面のめっき処理あるいはウェットエッチング処理の前処理工程において、使用しているフォトレジストの感光波長よりも短波長の紫外光、波長172nm以下に最大ピークを持つ発光スペクトルを有する紫外光あるいは波長172nm以下の単色紫外光を、空気、酸素、オゾンのうち少なくとも1つを含む雰囲気で表面に照射する。

Claim (excerpt)：

表面にフォトレジストをパターニングした表面のめっき処理あるいはウェットエッチング処理の前処理工程において、使用しているフォトレジストの感光波長よりも短波長側に最大ピークを持つ発光スペクトルを有する紫外光を、空気、酸素、オゾンのうち少なくとも1つを含む雰囲気で表面に照射することを特徴とする表面処理方法。

IPC (14)：

C25D 5/34 ,  B08B 3/08 ,  C23G 5/00 ,  C25D 5/48 ,  C25D 7/12 ,  G03F 7/40 ,  G03F 7/40 521 ,  G11B 5/31 ,  H01L 21/28 ,  H01L 21/288 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/304 645 ,  H01L 21/306 ,  H01L 21/3205

FI (15)：

C25D 5/34 ,  B08B 3/08 Z ,  C23G 5/00 ,  C25D 5/48 ,  C25D 7/12 ,  G03F 7/40 ,  G03F 7/40 521 ,  G11B 5/31 M ,  H01L 21/28 A ,  H01L 21/288 E ,  H01L 21/304 645 D ,  H01L 21/30 570 ,  H01L 21/306 Z ,  H01L 21/306 D ,  H01L 21/88 B

F-Term (86)：

2H096AA27 ,  2H096AA30 ,  2H096HA03 ,  2H096HA17 ,  2H096HA27 ,  3B201AA03 ,  3B201AA46 ,  3B201BB83 ,  3B201BB92 ,  3B201BB95 ,  3B201BB96 ,  3B201CC11 ,  4K024AA03 ,  4K024AA09 ,  4K024AB02 ,  4K024AB08 ,  4K024AB15 ,  4K024BA11 ,  4K024BB12 ,  4K024BB14 ,  4K024CA02 ,  4K024DA03 ,  4K024DA04 ,  4K024DA10 ,  4K024DB10 ,  4K024FA05 ,  4K024GA01 ,  4K024GA16 ,  4K053PA17 ,  4K053QA04 ,  4K053QA06 ,  4K053RA02 ,  4K053SA20 ,  4K053TA09 ,  4K053TA16 ,  4M104AA01 ,  4M104AA10 ,  4M104BB04 ,  4M104BB05 ,  4M104BB09 ,  4M104BB36 ,  4M104CC00 ,  4M104CC01 ,  4M104DD22 ,  4M104DD37 ,  4M104DD52 ,  4M104DD53 ,  4M104DD64 ,  4M104DD75 ,  4M104DD81 ,  4M104EE05 ,  4M104EE16 ,  4M104EE18 ,  4M104FF13 ,  4M104HH08 ,  4M104HH20 ,  5D033CA04 ,  5D033DA01 ,  5D033DA04 ,  5D033DA09 ,  5D033DA31 ,  5F033GG04 ,  5F033HH07 ,  5F033HH11 ,  5F033HH15 ,  5F033PP15 ,  5F033PP27 ,  5F033PP28 ,  5F033PP33 ,  5F033QQ07 ,  5F033QQ19 ,  5F033QQ48 ,  5F033QQ51 ,  5F033QQ53 ,  5F033RR02 ,  5F033RR03 ,  5F033RR21 ,  5F033RR22 ,  5F033XX00 ,  5F033XX13 ,  5F033XX18 ,  5F043AA26 ,  5F043BB18 ,  5F043CC09 ,  5F043DD01 ,  5F046LA18