Pat

J-GLOBAL ID：200903022628145619

感光性樹脂組成物及び電子部品用保護膜

Inventor： 沖之島 弘茂 ,  加藤 英人
Applicant, Patent owner： 信越化学工業株式会社
Agent (1)： 岩見谷 周志
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993051418
Publication number (International publication number)：1995319162
Application date： Feb. 17, 1993
Publication date： Dec. 08, 1995
Summary：

【要約】【構成】 本発明の感光性樹脂組成物は、下記一般式、 【化1】〔式中、Xは4価の有機基、Yは2価の有機基、R1〜R9は、水素原子または炭素数1〜10の炭化水素基であり、p,q及びmは1以上の整数〕で表されるポリイミド前駆体とo-ナフトキノンジアジドスルホン酸エステルとから成る。【効果】 イオン性不純物の混入がほとんどなく、その溶液は、保存安定性に優れ、また良好な感度を有しており、容易にパターン化された樹脂皮膜を与える。

Claim (excerpt)：

下記一般式(1):【化1】式中、Xは芳香族環または脂肪族環を有する4価の有機基、Yは2価の有機基、R1 、R2 及びR3 は同一でも異なっていてもよく、それぞれ水素原子または炭素数1〜10の一価の有機基であり、p,q,mは、1以上の整数であり、1/20≦q/p≦9、を満足する整数である、で表される重合体(A)と、感光性ジアゾキノン化合物(B)とを含有して成る感光性樹脂組成物。

IPC (11)：

G03F 7/037 501 ,  C08G 73/10 NTF ,  C08L 79/08 LQZ ,  G03F 7/022 ,  G03F 7/038 504 ,  G03F 7/075 511 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/312 ,  H01L 23/29 ,  H01L 23/31 ,  H05K 3/28

FI (2)：

H01L 21/30 502 R ,  H01L 23/30 C

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (11)

• 特公昭43-018790
  
• 特開昭62-275129
  
• 特開昭64-031150
  
• 特開平4-313756
  
• 耐熱性感光性重合体組成物及びレリーフパターンの製造法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-002516   Applicant：日立化成工業株式会社
• 特開平3-259260
  
• 特開平4-204945
  
• 特表平7-500932
  
• 特開平2-181149
  
• 特開平3-204649
  
• 感光性樹脂組成物及び電子部品用保護膜
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-035670   Applicant：信越化学工業株式会社