硫酸リサイクル型洗浄システムおよびその運転方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：横井幸喜
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004302401
Publication number (International publication number)：2006111943
Application date： Oct. 18, 2004
Publication date： Apr. 27, 2006
Summary：

【課題】過硫酸を用いた洗浄システムにおいて、電解反応の利用により過硫酸濃度を高めて洗浄効果を上げるとともに、電解反応に用いる電極の消耗を防止する。【解決手段】過硫酸溶液2により被洗浄材30を洗浄する複数の洗浄槽1a、1bと、電解反応により過硫酸溶液2を再生する電解反応装置10と、洗浄槽1a、1bと電解反応槽10との間で、過硫酸溶液2を循環させる循環ライン4a、5a、4b、5bを備える。一方の洗浄槽で被洗浄材30を洗浄する際に、他方の洗浄槽と電解反応装置10との間で溶液を循環させつつ電解をして、洗浄に適した過硫酸濃度にまで高める再生を行う。洗浄によって被洗浄材30から剥離した汚染物が電解反応装置10に流れ込んで電極を消耗させるのを防止する。また、上記洗浄と再生とを複数の洗浄槽で交互に行うことで処理効率を高める。【選択図】図2

Claim (excerpt)：

電解反応により、溶液に含まれる硫酸イオンから過硫酸イオンを生成して過硫酸溶液を再生する電解反応装置と、過硫酸溶液を洗浄液として被洗浄材を洗浄する洗浄装置と、前記電解反応装置と前記洗浄装置との間で、前記過硫酸溶液を循環させる循環ラインとを備える硫酸リサイクル型洗浄システムの運転方法であって、前記洗浄装置で被洗浄材を洗浄する際に、前記循環ラインにおける過硫酸溶液の循環を停止しておき、前記洗浄装置で被洗浄材の洗浄を行っていないときに、前記電解反応装置で電解反応により過硫酸溶液の前記再生を行うとともに循環ラインによって電解反応装置と洗浄装置との間で過硫酸溶液の循環を行うことを特徴とする硫酸リサイクル型洗浄システムの運転方法。

IPC (4)：

C25B 1/30 , C25B 1/22 , C25B 11/12 , H01L 21/304

FI (5)：

C25B1/30 , C25B1/22 , C25B11/12 , H01L21/304 647Z , H01L21/304 648F

F-Term (11)：

4K011AA16 , 4K011CA04 , 4K011DA11 , 4K021AB15 , 4K021BA04 , 4K021BB03 , 4K021BB05 , 4K021BC03 , 4K021DA09 , 4K021DA13 , 4K021DC15

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

過硫酸溶解水の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-374304 Applicant：ペルメレック電極株式会社
ダイアモンドを被覆した電極を使用してペルオクソ二硫酸を電気化学的に製造する方法
Gazette classification：公表公報 Application number：特願2001-528231 Applicant：フラウンホーファー-ゲゼルシャフトツルフェルデルングデルアンゲヴァンテンフォルシュングエーファウ, セエスエエムサントルスイスデレクトロニクエドミクロテクニクソシエテアノニム

Cited by examiner (5)

硫酸の再生利用方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-335879 Applicant：クロリンエンジニアズ株式会社
過硫酸溶解水の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-374304 Applicant：ペルメレック電極株式会社
電子部品等の洗浄方法及び装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-265811 Applicant：日本電気株式会社, オルガノ株式会社

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