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J-GLOBAL ID：200903022638372001

有機電界発光素子の製造方法及び有機電界発光素子の製造装置

Inventor： 石井 昌彦 ,  時任 静士 ,  多賀 康訓
Applicant, Patent owner： 株式会社豊田中央研究所
Agent (1)： 吉田 研二 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999077929
Publication number (International publication number)：2000277256
Application date： Mar. 23, 1999
Publication date： Oct. 06, 2000
Summary：

【要約】【課題】 再現性良く有機EL素子を製造すること。【解決手段】 基板上に、透明電極、発光層を含む有機層及び金属電極を備える有機EL素子を製造するにあたり、基板上に形成されたITO透明電極に対して表面処理を行って該ITO電極の仕事関数、清浄性及び平坦性を向上させる。さらに、表面処理後、基板を大気に曝すことなく測定室200に搬入し、ここでITO電極表面の清浄性(XPS)、平坦度(AFM)及び仕事関数を測定する。測定した清浄性、平坦度及び仕事関数が所定条件を満たすかどうか確認し、満たしている場合に、被測定基板を大気に曝されることなく次の有機層形成室300に搬送し表面処理後の透明電極表面に有機層を形成し、金属電極形成室400でさらに金属電極が形成される。

Claim (excerpt)：

基板上に、透明電極、発光層を含む有機層及び金属電極を備える有機電界発光素子の製造方法であり、前記基板上に形成された前記透明電極表面に前記有機層を形成する前に、真空雰囲気下で、前記透明電極に対して表面処理を行い、次に、大気に曝すことなく該表面処理後の透明電極表面の清浄性と平坦度及び前記透明電極の仕事関数を測定し、測定した清浄性、平坦度及び仕事関数が所定条件を満たす場合に、大気に曝すことなく前記表面処理後の透明電極表面に前記有機層を形成することを特徴とする有機電界発光素子の製造方法。

IPC (3)：

H05B 33/10 ,  H05B 33/14 ,  H05B 33/28

FI (3)：

H05B 33/10 ,  H05B 33/14 A ,  H05B 33/28

F-Term (12)：

3K007AB01 ,  3K007AB03 ,  3K007AB06 ,  3K007AB11 ,  3K007AB18 ,  3K007BB01 ,  3K007CA01 ,  3K007CB01 ,  3K007DA01 ,  3K007DB03 ,  3K007EB00 ,  3K007FA01