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J-GLOBAL ID：200903022647260313

研磨方法

Inventor：
横山 真司

About 横山 真司


Applicant, Patent owner：
オリンパス光学工業株式会社

About オリンパス光学工業株式会社


Agent (1)： 奈良 武
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001031219
Publication number (International publication number)：2002233952
Application date： Feb. 07, 2001
Publication date： Aug. 20, 2002
Summary：
【要約】【課題】 工具の状態、加工条件のバラツキ等があっても、同一の品質の高い面精度での研磨を行う。【解決手段】 被加工物5に対して部分的に工具1を当接した状態で相対的に走査させて研磨加工を行う。加工前の被加工物5の形状を測定し、測定した形状から走査速度を設定して被加工物5の全面を研磨加工する予備研磨工程と、予備研磨工程の研磨前後の被加工物5の形状を比較して被加工物5の各点における単位時間当たりの研磨量を算出する工程と、算出した単位時間当たりの研磨量を用いて予備研磨後の形状から理想形状を得るための研磨条件を算出する工程と、理想形状を得るための研磨を行う仕上げ研磨工程とからなる。
Claim (excerpt)：
被加工物に対して部分的に工具を当接した状態で相対的に走査させて研磨加工を行う方法において、加工前の被加工物の形状を測定し、測定した形状から走査速度を設定して被加工物の全面を研磨加工する予備研磨工程と、この予備研磨工程の研磨前後の被加工物の形状を比較して被加工物の各点における単位時間当たりの研磨量を算出する工程と、算出した単位時間当たりの研磨量を用いて予備研磨後の形状から理想形状を得るための研磨条件を算出する工程と、理想形状を得るための研磨を行う仕上げ研磨工程とからなることを特徴とする研磨方法。
IPC (2)：
B24B 49/02 ,  B24B 13/06
FI (2)：
B24B 49/02 Z ,  B24B 13/06
F-Term (11)：
3C034AA13 ,  3C034AA17 ,  3C034CA04 ,  3C034CA05 ,  3C049AA03 ,  3C049AA11 ,  3C049AB01 ,  3C049BB06 ,  3C049BB09 ,  3C049CB01 ,  3C049CB03
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (2)
  • 修正研磨加工方法
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-219418   Applicant：大阪機工株式会社
  • 特開昭63-232964

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