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J-GLOBAL ID：200903022681550304

有機金属堆積用の前駆溶液の合成およびテルビウムを添加したSiO2薄膜の堆積

Inventor： ウェイ ウェイ ツァン ,  ヨシ オノ ,  ティンカイ リー
Applicant, Patent owner： シャープ株式会社
Agent (1)： 特許業務法人原謙三国際特許事務所
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007177497
Publication number (International publication number)：2008034840
Application date： Jul. 05, 2007
Publication date： Feb. 14, 2008
Summary：

【課題】安定性の高い、不純物を添加したシリコン酸化物のスピンコーティング用の前駆溶液を提供すること。【解決手段】不純物が添加されたシリコン酸化物前駆体溶液を用いて、不純物が添加されたシリコン酸化薄膜を製造する方法は、有機酸にシリコン原料を混合する工程12と2-メトキシエチルエーテルを加えて、準備的な前駆溶液を調製する工程14とを含む。準備的な前駆溶液は、加熱および攪拌16され、ろ過18される。2-メトキシエタノールにドーピング不純物を溶解20させて、不純物が添加された原料溶液を調製する。不純物が添加された原料溶液を準備的な前駆溶液と混合22して、不純物が添加されたシリコン酸化物の溶液を調製する。不純物が添加されたシリコン酸化物の薄膜は、スピンコーティングによってウェーハ上に形成24される。薄膜およびウェーハは、漸次的に温度を上昇させながら焼成26された後、アニール28される。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

不純物が添加されたシリコン酸化物前駆体溶液を用いて、不純物が添加されたシリコン酸化薄膜を製造する方法であって、 上記製造方法は、以下の工程: 有機酸にシリコン原料を混合する工程; 上記シリコン原料および上記有機酸に対して2-メトキシエチルエーテルを加えて、準備的な前駆溶液を調製する工程; 準備的な上記前駆溶液を加熱および攪拌する工程; 準備的な上記前駆溶液を濾過する工程; 2-メトキシエタノールにドーピング不純物を溶解させて、不純物が添加された原料溶液を調製する工程; 準備的な上記前駆溶液と、不純物が添加された上記原料溶液とを混合して、不純物が添加されたシリコン酸化物の前駆溶液を調製する工程; 不純物が添加されたシリコン酸化物の上記前駆溶液をウェーハ上にスピンコーティングすることによって、不純物が添加されたシリコン酸化物の薄膜をウェーハ上に形成する工程; 漸次的に温度を上昇させながら上記薄膜および上記ウェーハを焼成する工程;ならびに 上記薄膜および上記ウェーハを少なくとも1回、アニーリングする工程 を包含することを特徴とする方法。

IPC (3)：

H01L 21/316 ,  C09K 11/08 ,  C09K 11/59

FI (4)：

H01L21/316 G ,  C09K11/08 B ,  C09K11/59 ,  H01L21/316 P

F-Term (27)：

3K107AA05 ,  3K107CC45 ,  3K107DD53 ,  3K107DD54 ,  3K107DD56 ,  3K107FF14 ,  3K107FF17 ,  3K107GG06 ,  3K107GG28 ,  4H001CA04 ,  4H001CF02 ,  4H001XA08 ,  4H001XA14 ,  4H001YA65 ,  5F058BA20 ,  5F058BC02 ,  5F058BC03 ,  5F058BC04 ,  5F058BC05 ,  5F058BC20 ,  5F058BD04 ,  5F058BD05 ,  5F058BD06 ,  5F058BD07 ,  5F058BD18 ,  5F058BF46 ,  5F058BH03