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J-GLOBAL ID：200903022685178604

環境評価方式およびそれを用いた環境評価装置

Inventor： 北田 正弘 ,  桐野 文良
Applicant, Patent owner： 北田 正弘
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002133333
Publication number (International publication number)：2003294606
Application date： Apr. 02, 2002
Publication date： Oct. 15, 2003
Summary：

【要約】【目的】従来の環境評価装置の欠点を除去し、製品を構成する材料側からより正確な環境評価をする装置を提供することである。【構成】本環境評価装置は1)環境中のガス成分と反応する素子部分、2)素子の変化を検出し電気信号に変える部分、3)測定結果を記憶する部分を基本とし、特に、検出素子として複数の金属薄膜を用いていることに特徴がある。【効果】短時間に環境評価を行え、高精度、高感度でしかも安価な測定装置を提供することができる。本発明の手法は製品などの構成体である材料の視点に立って環境による影響を評価できる。

Claim (excerpt)：

金属あるいはその合金、あるいはその化合物からなる2種類以上の異なる材料からなる薄膜を一枚の絶縁物基板上に順次形成し、各々の薄膜が異なる物理的あるいは/および化学的性質を有し、該薄膜の有する物理的あるいは/および化学的性質の違いを用いて複数の環境中のガス成分を検知する検出素子を構成し、該素子の材料の物理的あるいは/および化学的特性の変化を検出することにより環境評価を行ったことを特徴とする環境評価方式およびそれを用いた環境評価装置。

IPC (3)：

G01N 17/00 ,  G01N 21/47 ,  G01N 21/75

FI (3)：

G01N 17/00 ,  G01N 21/47 Z ,  G01N 21/75 Z

F-Term (41)：

2G050AA01 ,  2G050BA05 ,  2G050EA06 ,  2G050EB02 ,  2G050EB07 ,  2G054AA01 ,  2G054AA04 ,  2G054AB06 ,  2G054CA08 ,  2G054CA10 ,  2G054CA11 ,  2G054CA30 ,  2G054CD04 ,  2G054EA04 ,  2G054EA05 ,  2G054EB01 ,  2G054EB12 ,  2G054FA12 ,  2G054FA17 ,  2G054FA18 ,  2G054FA21 ,  2G054FA32 ,  2G054FA33 ,  2G054GA05 ,  2G054GE06 ,  2G054JA01 ,  2G054JA02 ,  2G059AA01 ,  2G059BB01 ,  2G059EE02 ,  2G059FF04 ,  2G059GG01 ,  2G059GG02 ,  2G059HH02 ,  2G059HH06 ,  2G059JJ22 ,  2G059KK01 ,  2G059KK03 ,  2G059MM01 ,  2G059MM05 ,  2G059MM10