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J-GLOBAL ID：200903022691713414

試料ホルダーおよび該試料ホルダーに用いるスペーサー

Inventor： 饗場 利明
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 金田 暢之 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000109383
Publication number (International publication number)：2001015056
Application date： Apr. 11, 2000
Publication date： Jan. 19, 2001
Summary：

【要約】【課題】 FIB加工により作製した断面TEM観察用試料の、低取り出し角のX線分析器によるEDX分析においても、高いX線検出効率を有する電子顕微鏡ホルダー及びこれに用いるスペーサーを提供する。【解決手段】 試料ホルダーは、試料21を配置するための試料保持面11を有する試料保持台2と、保持台2を挟んで配置され、試料保持面11よりも突出した一対の凸部32とを有する。ここで、試料保持台2の試料保持面11は、試料保持面11よりも突出した一対の凸部32それぞれの上部を含む平面に対して角度を有する。

Claim (excerpt)：

ホルダー本体と、該ホルダー本体に設けられ、試料が置かれる試料保持面を有する試料保持台と、該試料を該試料保持台に押え付ける試料押さえとを有する試料ホルダーであって、前記ホルダー本体が水平な状態での前記試料保持台の試料保持面が、前記ホルダー本体の長手方向の近傍を傾斜の中心軸にして傾斜していることを特徴とする試料ホルダー。

IPC (2)：

H01J 37/20 ,  G01N 1/28

FI (3)：

H01J 37/20 A ,  H01J 37/20 C ,  G01N 1/28 W

F-Term (3)：

5C001AA05 ,  5C001CC01 ,  5C001CC03