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J-GLOBAL ID：200903022708208999
対象物にあるむらの検査方法および装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
奥山 尚男 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996274009
Publication number (International publication number)：1998096696
Application date： Sep. 25, 1996
Publication date： Apr. 14, 1998
Summary：
【要約】【課題】 対象物にある「むら」に関して、目視評価に近い判定結果を得ることを目的とする。【解決手段】 対象物1の画像を画像データとして取り込むステップ4と、入力された空間座標の関数である該画像データに対して二次元フーリエ変換を行って周波数の関数であるパワースペクトルを算出するステップ10と、該パワースペクトルに対して視覚特性に対応した重み付け処理を行って重み付けスペクトルを得るステップ11と、必要に応じて任意に行われる該重み付けスペクトルに対して二次元逆フーリエ変換処理を行うステップ16と、その結果得られる重み付けスペクトルあるいは画像データについて評価値を算出するステップ12と、該評価値をあらかじめ設定した基準値14と比較して欠陥の有無の判定を行うステップと13を含む、対象物にあるむらの検査方法および該検査方法を実施するための装置。
Claim (excerpt)：
対象物の画像を画像データとして取り込むステップと、入力された空間座標の関数である該画像データに対して二次元フーリエ変換を行って周波数の関数であるパワースペクトルを算出するステップと、該パワースペクトルに対して視覚特性に対応した重み付け処理を行って重み付けスペクトルを得るステップと、該重み付けスペクトルについての評価値を算出するステップと、該評価値をあらかじめ設定した基準値と比較して欠陥の有無の判定を行うステップとを含む、対象物にあるむらの検査方法。
IPC (2)：
FI (2)：
G01N 21/57
, G01N 21/88 Z
